Xenics SWIR- und NIR-Kameras in der Mikroskopie
Silizium ist weitgehend transparent für Photonen im kurzwelligen Infrarot ab 1100 nm. Daher sind Nahinfrarotkameras auf InGaAs-Detektorbasis ein wertvolles Werkzeug um Defekte im Silizium zu erkennen, zum Beispiel Brüche, Hohlräume oder Verunreinigungen in Chips und Wafern. InGaAs-Detektoren von Xenics haben eine Quanteneffizienz im nahen Infrarot von mehr als 70% und können auch wenige Photonen erkennen.
Bei der Produktion von MEMS wird eine Inspektion durch mehrere, unterschiedliche Schichten von Silizium benötigt. Mikroskopie mit kurzwelligen Kameras wird bei der Suche nach Verlusten in Lichtleitern genutzt. Bei der Photonenemissionsmikroskopie finden empfindliche, gekühlte Nahinfrarotkameras mit InGaAs-Detektoren Verwendung, um den durch Defekte schwachen Photonenfluss durch die Rückseite der Bauteile zu beobachten.
Unsere Xenics Nahinfrarotkameras können relativ einfach auf Mikroskope montiert werden. Der große Vorteil unserer Kameras ist dabei, dass das Objektiv mit einem C-Mount angebracht wird, und genau diese C-Mount- Schnittstelle auch in der Mikroskopie genutzt wird.
Unsere Kameras sind mit sehr empfindlichen Detektoren ausgestattet, die auch niedrige Signale erkennen können. Das Signal-Rausch-Verhältnis ist dabei optimal. Bei vielen Mikroskopen ist es außerdem sinnvoll, eine klein dimensionierte Kamera zu verwenden. Für ein möglichst rauscharmes Bild, auch bei langen Belichtungszeiten, müssen die Kameras in der Regel über eine thermoelektrische Kühlung verfügen, die die Detektortemperatur stabil hält. Sowohl bei unseren Bobcat- und Xeva-Serien, als auch bei den schnellen Cheetah-Kameras wird ein vibrationsarmer thermoelektrischer Kühler verwendet. Bei Xeva und Cheetah sind zudem thermoelektrische Kühler der Stufe 3 verfügbar.
Für sehr geringe Photonenzahlen reicht das allerdings nicht mehr aus. Dann nutzen wir Cougar – eine mit flüssigem Stickstoff gekühlte Kameravariante, die ein Auslesen über Stunden bei sehr niedrigem Rauschen erlaubt. Hier ist es wegen der Flüssigstickstoffkühlung wichtig, die Orientierung der Kamera beim Aufbau auf das Mikroskop zu berücksichtigen. Die Detektoren der Xenics Nahinfrarotkameras haben eine sehr hohe Quanteneffizienz und rauscharme Elektronik mit mehreren Gainstufen. Dadurch sind sie vorteilhaft auf Mikroskopen anzuwenden und erweitern den Nutzungsbereich aller Komponenten.
Unterlagen zu unseren Nahinfrarotkameras senden wir Ihnen gerne zu.
