Sistema di misura di stress per film sottili Flexus FLX
Da Toho TechnologyI sistemi della famiglia Flexus FLX della Toho forniscono misure accurate di stress su film e substrati di varia natura, per applicazioni sia in ambito di ricerca che di controllo qualità industriale. I sistemi FLX impiegano la tecnologia brevettata KLA-Tencor “Dual Wavelenght” che permette di determinare con estrema precisione stress di superficie generati durante il processo di crescita dei film.
- Range di temperatura disponibile da -65 °C a 500 °C
- Tecnologia brevettata "dual wavelength"
- Calcolo del coefficiente di dilatazione termica e modulo elastico biassiale
- Mappatura 3D della curvatura del campione e distribuzione dello stress
- Dimensione dei campioni alloggiabili da 25 mm fino a 300 mm
Maggiori informazioni
I sistemi della famiglia Flexus FLX della Toho permettono la misura di stress su film sottili nel range di temperature da -65 °C a 500 °C. Fenomeni di stress che avvengono durante i processi di deposizione dei film sono all’origine della formazione di cricche e irregolarità nei campioni e costituiscono dunque la causa principale di guasti e malfunzionamenti di componenti elettronici.
La tecnologia brevettata KLA-Tencor “Dual Wavelenght” utilizza un fascio laser che viene scansionato sulla superficie del campione lungo un asse. Il fascio riflesso dal campione viene poi letto da un sensore di posizione. In questo modo è possibile misurare il raggio di curvatura del substrato prima e dopo la deposizione del film, e quindi la variazione di curvatura indotta dalla deposizione. Il valore di stress del film deposto viene poi calcolato utilizzando l’equazione di Stoney. Eseguendo la scansione lungo diversi assi del campione è possibile ottenere una ricostruzione 3D della distribuzione dello stress o del raggio di curvature del campione.
I sistemi della famiglia Flexus sono disponibili in due versioni principali: FLX-2320-S per campioni di dimensioni 25-200 mm e FLX-3300-T per campioni fino a 300 mm di diametro. I nuovi sistemi FLX-2320-R e FLX-3300-R rappresentano invece una soluzione più economica per tutte quelle applicazioni dove non è necessario eseguire misure in funzione della temperatura. Oltre alle funzioni standard presenti sugli altri modelli FLX, questi sistemi sono equipaggiati con uno stage di rotazione motorizzato che permette di ruotare il campione in maniera arbitraria ed eseguire diverse scansioni. Tutti i sistemi sono dotati di software di controllo e analisi delle immagini che consente una visualizzazione 3D sia dei valori di stress che di curvatura.
Specifiche
Diametro massimo di scansione/dimensioni massime del campione
- 50-200 mm per il modello FLX-2320 (1” su richiesta)
- 75-300 mm per il modello FLX-3300
Caratteristiche tecniche
- Range di misura: da 1 a 4000 MPa (3500 MPa per FLX-3300)
- Ripetibilità: 1.3 MPa
- Accuratezza: <2.5% o 1 MPa
- Raggio minimo: 2 m
- Raggio massimo: 33 km
Misure in temperatura (solo per FLX-2320-S e FLX-3300-T)
- Range di temperatura: da -65°C a 500°C
- Gas inerti: Azoto e Argon
- Portata flusso: 1,5L/min, 0.3 kg/cm²
- Opzione per raffreddamento ad azoto liquido LN2
- Velocità di riscaldamento: 25°C/min
- Velocità di raffreddamento: da 500°C a 100°C in 1 ora (30 minuti con opzione LN2)
- Misura del coefficiente di dilatazione termica e modulo elastico biassiale
Applicazioni
Downloads
Contatti
Navigazione
Categorie
Contatti
Quantum Design s.r.l.
Via Francesco Sapori, 27
00143 Roma
Italy
Telefono: | +39 06 5004204 |
Fax: | +39 06 5010389 |
E-mail: | italyqd-europe.com |