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Spin coater

Gli spin coater sono strumenti ideali per la preparazione di film sottili e ultra-sottili per applicazioni diverse, in particolare per analisi spettroscopiche e morfologiche (ottiche, IR, raggi X, dielettriche, ecc.)

Caratteristiche

Velocità di rotazione fino a 13.500 rpm
Ritenzione del campione di tipo passivo e attivo
Rampe programmabili integrate
Ampia scelta di piattini porta campione (chuck)

Maggiori informazioni

Gli Spin Coater SCI-225mini sono pensati per applicazioni di routine e raggiungono una massima velocità di rotazione di 13.500 rpm. and has a maximum idling speeds of 13.500 rpm. Grazie allo speciale design dei piattini porta campione il fissaggio dei substrati si ottiene in maniera passiva (senza l’uso di fissaggi meccanici o pompe da vuoto) purché i campioni siano sufficientemente leggeri e si lavori a velocità di rotazioni elevate.

I modeli SCR, SCE-150 e SCC-200 poffrono invece un fissaggio dei campioni di tipo attivo tramite vuoto creato da un’apposita pompa. modello SCE-150 è dotato di un sistema di programmazione digitale delle rampe con velocità di rotazione selezionabili a piacere; il modello SCC-200 aggiunge a queste funzioni quella di una memoria non volatile per il salvataggio di 10 ricette (rampe) differenti.

Applicazioni

Gli spin coater sono strumenti ideali per la deposizione di film sottili e ultra-sottili a partire da soluzione liquida di vari materiali (fotoresist, polimeri, sol-gel, poliammidi, ecc.) su un'ampia gamma di substrati differenti (wafer di silicio, vetrini, rame, plastiche, ecc.) e permettono un controllo estremamente accurato e riproducibile dello spessore in un range che va dai pochi nanometri ai diversi micron.

Durante il processo di spin coating, il precursore liquido viene dispensato al centro di un substrato rotante a velocità controllata e, per effetto della forza centrifuga, esso si dispone in maniera omogenea su tutto il substrato andando a formare un film sottile di spessore variabile in funzione della velocità e tempo di rotazione impostati, viscosità della soluzione bagnabilità della superficie del substrato.

Gli spin coater sono quindi strumenti perfetti per la preparazione di film sottili e ultrasottili, soprattutto per applicazioni spettroscopiche (ottiche, IR, raggi X, dielettriche ecc.).