Nuovo interferometro di Fizeau AccuFiz Duo di 4D Technology
Interferometro dinamico ad alta precisione che combina capacità di coerenza corta e lunga in un unico sistema per la misura di un’ampia gamma di componenti ottici
4D Technology Corporation, parte del gruppo Onto Innovation Inc., leader nel settore degli interferometri dinamici, annuncia il lancio di un nuovo interferometro laser in aggiunta alla propria Serie AccuFiz supportato dal rilascio del nuovo e potente software di acquisizione ed analisi dati 4Sight Focus.
La modalità short coherence dell’AccuFiz Duo utilizza la stessa tecnologia brevettata e implementata sull’AccuFiz D, consentendo misure dinamiche on-axis, insensibili alle vibrazioni e ad alta precisione, di superfici di grado ottico. Con la sorgente laser a coerenza corta, l’AccuFiz Duo è in grado di eseguire la misura di ottiche piane e lenti sottili a superfici parallele senza la necessità di trattare le superfici per attenuare le frange di interferenza di disturbo generate sulla superficie non sotto misura.
In questa modalità, l’interferometro di Fizeau AccuFiz Duo permette la misura dell'errore di superficie, dell'errore del fronte d'onda trasmesso, dello spessore ottico e dell'omogeneità di elementi ottici sottili e trasparenti a facce piane parallele con spessore fino a 200 µm.
La sorgente aggiuntiva a lunga coerenza impiega un laser HeNe stabilizzato e permette all’AccuFiz Duo di operare come un interferometro di Fizeau standard con tecnica Temporal Phase Shifting.
Una sorgente laser a lunga coerenza permette la misura su lunghe cavità ottiche e, grazie alla tecnica di misura opzionale Dynamic Acquisition di 4D Technology, anche in presenza di vibrazioni e turbolenza.
In modalità long coherenze, l’AccuFiz Duo può essere impiegato per misure di raggio di curvatura e per misure dove è previsto l’utilizzo di elementi CGH.
Figure 1. L’interferometro fi Fizeau AccuFiz Duo Fizeau combina sorgenti laser a corta e lunga coerenza in un unico sistema.
“Siamo entusiasti di presentare questa nuova soluzione tecnica alla comunità scientifica e all’Industria dell'Ottica.”, ha dichiarato Erik Novak, Vice President e General Manager di 4D Technology. “L’interferometro AccuFiz Duo rappresenta un sistema dinamico innovativo e modulare pensato per applicazioni interferometriche impegnative in presenza di vibrazioni e turbolenze e per consentire la misura accurata di un ampio range di ottiche con l’impiego di un unico sistema, risparmiando spazio e costi.”
L’AccuFiz Duo è caratterizzato dallo stesso design leggero e compatto dell’interferometro AccuFiz D ma prevede due moduli sorgente con i quali è possibile misurare una gamma di ottiche più ampia, sia in laboratorio che in ambienti di produzione.
L'intuitivo e potente software di analisi 4Sight Focus di 4D Technology, piattaforma consolidata e comune a tutti gli interferometri 4D di ultima generazione, permette di operare in entrambe le modalità.
La visualizzazione 2D e 3D, le maschere, i filtri e le tavolozze disponibili all’interno del software 4Sight Focus permettono di eseguire velocemente l’analisi quantitativa delle misure, di rappresentare i dati con una chiarezza senza precedenti e di individuare caratteristiche tipiche della forma di una superfice ottica.
Il software 4Sight Focus include, inoltre, una suite completa di tools avanzati per l’analisi geometrica e di diffrazione. L’analisi di Fourier, di Zernike, Slope e Seidel risultano tutte facili da eseguire.
L’acquisizione dei dati in modalità continua permette, inoltre, di eseguire l’analisi di Zernike in tempo reale.
Il nuovo interferometro laser di Fizeau AccuFiz Duo con il software di controllo e analisi dati 4Sight Focus continua la tradizione di 4D Technology nell’offrire alcuni degli interferometri con le più elevate prestazioni disponibili sul mercato mondiale, accompagnati da un servizio di assistenza e da un supporto applicativo leader di settore.
Specifiche AccuFiz Duo
Configuration: On-axis Fizeau interferometer
Acquisition: Vibration-insensitive Dynamic Interferometry and Phase Shifting Interferometry
Source: External 636nm short coherence (~200µm) source and 632.8nm long coherence length stabilized HeNe
Camera: 3K x 3K pixels; exposure 1 msec typical (1.5K x 1.5K pixels with long coherence source)
Controls: Remote control focus, zoom, pan, extended source size, measurement
Zoom: Continuous 1–10X with pan, calibrated at all zoom settings
Software: 4Sight™ Focus included
Size: Interferometer, 51.4 cm (20.2 in) long
Aperture 100 mm (4 in) or 150 mm (6 in); optional to 600 mm (24 in)
Misurare un range più ampio di ottiche in laboratorio o in produzione
Il nuovo interferometro 4D AccuFiz Duo, sia in modalità short coherence insensibile alle vibrazioni che in modalità long coherence con Dynamic Acquisition Mode opzionale, può lavorare in ambienti in cui altri strumenti semplicemente non possono.
L’AccuFiz Duo può anche essere impiegato per misure di laboratorio senza l’ausilio di sistemi per l’isolamento dalle vibrazioni ambientali o per il controllo della turbolenza, oppure in condizioni ambientali o in setup sperimentali caratterizzati da lunghe cavità ottiche che non permetterebbero l’uso delle tecniche TPSI tradizionali.
L’AccuFiz Duo permette di:
Misurare finestre, wafer in zaffiro (SOS) e ottiche piano-parallele
Misurare domes e altri elementi ottici curvi e trasparenti
Misurare ottiche piane, sferiche e prismi
Misurare componenti semiconduttori con elevata finitura superficiale
Eseguire misure con cavità remote o solidali
Eseguire misure di spessore ottico e di omogeneità
Eseguire misure di errore del fronte d’onda trasmesso di componenti e sistemi ottici
Eseguire procedure di allineamento rapido di sistemi ottici
Condurre misure di test in camere da vuoto e in camere di simulazione ambientale
La modalità short coherence dell’AccuFiz Duo è in grado di eseguire misure dinamiche in asse, facendo uso della tecnologia brevettata Dynamic Interferometry® di 4D Technology che utilizza una singola camera, un sensore di fase ad alta velocità, per effettuare misure di fronte d'onda in soli 150 microsecondi.
Tale tecnologia, tramite l’impiego di una “pixelated camera”, un sensore accoppiato ad una maschera di polarizzatori, consente l’esecuzione di misure interferometriche in ambienti difficili, dove le vibrazioni, la turbolenza dell'aria o la presenza di parti in rapido movimento hanno tradizionalmente impedito di ottenere risultati interferometrici accurati.
Le ottiche piano-parallele sono componenti trasparenti con facce parallele o sistemi di ottiche con due o più superfici parallele. Misurare una qualsiasi delle superfici parallele con un interferometro è estremamente difficile o impossibile, poiché tutte le superfici parallele generano frange di interferenza che si sovrappongono.
La sorgente laser a coerenza corta dell’AccuFiz Duo permette di misurare superfici ottiche piano-parallele con spessore fino a 0.2 mm senza la necessità di rivestire o trattare una delle due superfici per eliminare le frange indesiderate.
È inoltre possibile calcolare l'errore del fronte d'onda trasmesso, lo spessore ottico e l'omogeneità ed eseguire misure di test in camere ambientali.
Un sistema interno veloce e automatizzato consente di eseguire rapidamente la scansione lungo la cavità ottica per individuare e isolare ciascuna superficie.
La sorgente aggiuntiva a lunga coerenza dell’interferometro AccuFiz Duo impiega un laser HeNe stabilizzato e lavora con tecnica Phase Shifitng standard con tutti i vantaggi di un interferometro Fizeau.
La modalità a coerenza lunga permette misure interferometriche precise su setup caratterizzati da cavità ottiche molto lunghe e dispone della modalità dinamica spatial carrier opzionale per la mitigazione delle vibrazioni e della turbolenza. La sorgente a lunga coerenza offre anche la possibilità di eseguire misure del raggio di curvatura e quelle che si basano su elementi CGH.
Configurazioni Large Aperture
L’AccuFiz Duo è completamente compatibile con gli accessori ottici 4D per la realizzazione di sistemi di grande apertura per la generazione di fasci di test collimati fino a 800 mm di diametro. Il kinematic mount permette la rimozione facile e veloce dell’interferometro AccuFiz dall’aperture converter per consentirne l’impiego come sistema stand-alone in altri setup ottici per la misura di ottiche piane o focali e di reinstallare successivamente lo strumento per la misura di ottiche più grandi senza necessità di lunghe e difficili procedure di riallineamento.
Figure 2. Interferometro AccuFiz con beam expander da 600 mm.
4D Technology
4D Technology Corporation, parte del gruppo Onto Innovation Inc., è leader mondiale nella fornitura di soluzioni dinamiche e a non contatto per la Metrologia 3D di superficie.
Gli interferometri laser e i profilometri ottici basati sulla tecnologia brevettata Dynamic Interferometry, insensibili alle vibrazioni, portatili e automatizzabili, forniscono misure precise delle caratteristiche superficiali, della rugosità e dei difetti, anche negli ambienti più difficili e in linea di produzione nei settori della meccanica di precisione, dell’automotive, dell’ottica, dell’astronomia, dell’industria aerospaziale e della difesa e delle comunicazioni ottiche.
