Apex XCT – schnelle submikron CT für die Halbleiterindustrie
from SIGRAYUnser Partner Sigray stellt mit dem Apex XCT-150 ein komplett neues, patentiertes Verfahren für CT-Messungen vor, welches die Computertomographie von typischen Proben aus der Halbleiterindustrie wie z.B. Grafikkarten oder Wafern revolutioniert. CT-Messungen, die mit einem herkömmlichen CT-System mehrere Stunden dauern, schafft das Apex XCT in nur wenigen Minuten.
- 3D-Messungen von intakten Proben bis zu 300 mm Durchmesser
- 0,5 µm 3D-Auflösung in < 15 Minuten
- Keine Strahlhärtungs-Artefakte
Weitere Informationen
Mit Hilfe der Computertomographie (CT oder auch µCT) ist es möglich, beispielsweise ganze Platinen oder Wafer nach verborgenen Schäden zu untersuchen, ohne das Bauteil zu zerstören. Auflösungen unterhalb 1 µm sind in allen drei Raumdimensionen möglich, weswegen die µCT bereits seit den frühen 2000er Jahren verwendet wird.
Problematisch für herkömmliche CT-Systeme sind allerdings große und flache Proben wie z.B. Platinen oder ganze Wafer. Diese führen sowohl zu sehr langen Messzeiten, als auch zu Messartefakten (beam hardening artifacts). Das Apex XCT-150 eliminiert diese beiden gravierenden Limitierungen der herkömmlichen CT-Systeme mittels seines patentierten neuartigen Messaufbaus und bietet die Möglichkeit selbst große Proben wie z.B. eine Grafikkarte sehr schnell und ohne Messartefakte zu untersuchen.
Beseitigung von Messartefakten
Der einzigartige Messaufbau des Apex XCT-150 beseitigt die bei konventionellen CT-Systemen häufig auftretenden Messartefakte bei typischen Halbleiterproben (beam hardening artifacts, etc.). Im unteren Bild sehen Sie den direkten Vergleich zwischen der Messung mit unserem Apex CT-150 und einem konventionellen CT/XRM System.
Spezifikationen
| Technical Specifications of the Apex XCT-150 | ||
| Parameter | Specification | |
| Overall | Spatial Resolution | 0.5 μm |
| Minimum Voxel | 70 nm | |
| Source | Type | Nanofocus Sealed Tube Transmission X-Ray Source |
| Voltage | 30 - 160 kVp | |
| Power | 25 W | |
| Target(s) | Tungsten | |
| Detector(s) | Type | 6.7 MP 50 micron pixel size 9 FPS 14x11 cm (Upgrade) 26.9 MP 50 micron pixel 22 fps 28x24 cm |
| Visible Light Camera | 16MP alignment camera | |
| Software | Command and Control | Sigray 3D with Intuitive interface |
| Reconstruction | GigaRecon - fastest commercial CBCT reconstruction software | |
| Continuous (or Fly) Scan Data Acquisition | Standard | |
| Sample Handling Robot | Queue up to 20 samples without operator interventon | |
| Linux Workstation | Interface is on a Windows workstation, while a separate robust Linux workstation controls the system. Advantageous for reliable 24-7 operation. | |
| EPICS | Open-source software controls for maximum flexibility | |
| Dimensions | Footprint | 224 cm L x 125 cm W x 234 cm H |
| Sample Size | 300 mm diameter x 25 mm height | |
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