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Kompaktes theta-SE für schnelles Probenmapping

von Woollam Co.

Das theta-SE ist ein spektroskopisches Ellipsometer für Knopfdruck-Bedienung zur Homogenitäts-Charakterisierung von Dünnschichten. Es bietet fortschrittliche Ellipsometrie-Technologie in einem kompakten Gehäuse zu erschwinglichem Preis.

Eigenschaften

Voll integriertes System
Hohe Geschwindigkeit
Kompakt
Bedienerfreundlich
Kostengünstig

Weitere Informationen

Das theta-SE ist mit 300 mm automatisiertem Probentisch, kleinem Messstrahl, schneller automatischer Probenjustage, Kamera und unserer neuesten Dual-Rotating Ellipsometer-Technologie ausgestattet. Das theta-SE hat alles, was Sie benötigen, um die laterale Homogenität Ihrer Schichtdicke und optischen Eigenschaften zu messen.

Spezifikationen

Spektralbereich: 400 bis 1000nm
Anzahl der Wellenlängen (simultan gemessen): 190
Detektor: CCD
Messfleck: 250 x 600µm (auf Probe)
Messzeit (pro Messpunkt, gesamtes Spektrum): 0.3 Sek (schnellste Messzeit), 1-2 Sek (typisch)
Einfallswinkel: 65°
Datentypen: Spektroskopische Ellipsometrie und g-SE oder Mueller Matrix-SE