Spin Coater

Spin Coater sind ideale Werkzeuge zur Herstellung dünner und ultradünner Filme für viele Anwendungen, insbesondere für spektroskopische Untersuchungen (optisch, IR, Röntgen, dielektrisch etc.)

Eigenschaften
  • Leerlaufdrehzahl bis zu 13500 U/min
  • Passive oder aktive Vakuumansaugung
  • Interne Drehzahlprogramme
  • Große Auswahl an speziellen Probentischen (Chucks)

Weitere Informationen

Der Spin Coater SCI-30 ist ein kompaktes Routinegerät mit einer maximalen Leerlaufdrehzahlen von 13.500 U/min. Die Drehzahleinstellung erfolgt über ein 10-Gang-Wendelpotentiometer, die Anzeige der Drehzahl über einen eingebauten digitalen Tachometer in Umdrehungen pro Sekunde. Durch eine spezielle Konstruktion (Radialbohrungen) der Tische wird bei mittleren bis hohen Drehzahlen eine passive Vakuumansaugung erreicht.

Die Modelle SCE-150 und SCC-200. haben die Möglichkeit der aktiven Vakuumfixierung der Substrate durch eine externe Vakuumpumpe. Der SCE-150 bietet eine programmierbare Rampenfunktion und ein einstellbares Drehzahlplateau. Der SCC-200 kann zehn Programm-Routinen speichern.

Anwendungen

Mit Spin Coatern lassen sich Filme reproduzierbarer Dicke aus verschiedensten Materialen (Foto- und andere Lacke, Polyimide, Sol-Gele, usw.) auf nahezu jeder Art Substrat (Kupfer, Silikon, Glas, Plastik, etc.) aufbringen. Beim Spin-Coating werden diese flüssigen oder auch pastösen Substanzen auf das sehr schnell rotierende Substrat aufdosiert. Infolge der auftretenden Fliehkräfte werden diese Substanzen radial nach außen geschleudert; dabei bleibt ein dünner Substanzfilm (nm - µm) auf dem Substrat zurück. Spin Coater sind damit ideale Werkzeuge zur Herstellung dünner und ultradünner Filme für viele Anwendungen, insbesondere auch für spektroskopische Untersuchungen (optisch, IR, Röntgen, dielektrisch etc.)

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Spin coaters, brochure english

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Dr. Joachim Weiss
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