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Zygo : interféromètre de Fizeau haute résolution

Verifire HD par Zygo

L'interféromètre Verifire HD de Zygo fournit des mesures rapides à haute résolution de surfaces optiques planes ou sphériques ainsi que du front d'onde transmis de systèmes et assemblages optiques. Disponible en versions 4" et 6", il mesure les composants optiques en verre ou en plastique - comme les plans, les lentilles et les prismes – ainsi que les wafers silicium et les surfaces métalliques et céramiques usinées avec précision. Sa haute résolution latérale permet de « voir » un grand nombre de franges dans le champ de vision permettant de caractériser, voulues ou non, les déviations des surfaces à forte pente.

Caractéristiques
  • Configuration dite True-Fizeau pour assurer une métrologie optimale
  • Design optique interne optimisé pour la transmission des hautes fréquences
  • Caméra haute-résolution rapide faible bruit de 2304x2304 pixels à 210 Hz = de 800 à 1000 franges détectables
  • Laser Zygo stabilisé longue durée de vie (> 60.000 h)
  • Logiciel Zygo MX
  • Acquisitions PSI (13 buckets) et QPSI (30 buckets) anti-vibratoire
  • Acquisitions DynaPhase & LivePhase en option

Plus d'informations

All characteristics

  • True on-axis Fizeau configuration ensures accurate metrology
  • Optimized internal design to transmit high frequencies
  • Low noise fast 2304x2304 pixels camera (210 Hz)
    • Resolves mid-spatial frequency surface features (about 1000 fringes in the FOV)
  • Fixed 1x magnification
  • Optional CARS acquisition: Coherent Artefact Suppression and Noise Reduction
  • Zygo MX software
  • Classical PSI technology (13 buckets)
  • Anti-vibration QPSI technology (30 buckets) for production environments
  • Optional DynaPhase technology for dynamic measurements
  • Stabilized long-life proprietary laser with industry-leading reliability
  • Wired and wireless remote control
  • Available in 4” & 6” mainframes

Applications

Wafers flatness

The high capability of the Verifire HD to characterize high-slope surfaces deviations makes it very well suited to the characterization of silicon wafers.

Téléchargements

Verifire HD brochure

Vidéos

ZYGO QPSI Vibration-Tolerant Interferometry – Quick Demonstration
How to Measure the Surface of a Plano Optic with a ZYGO Laser Interferometer System
How to Measure the Transmitted Wavefront of a Plano Optic with a ZYGO Laser Interferometer
Interferometer measuring in vibration performs metrology with noise-free interferometry data
How to Use the SmartAveraging™ Feature of ZYGO's Mx™ Software
Extreme Product Testing: ZYGO Laser Interferometer Dropped from a Fork Lift!

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