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Spin Coater

Les spin coaters sont des outils idéaux pour la préparation de films minces et ultrafins pour une variété d'applications, notamment pour l'analyse spectroscopique (optique, IR, rayons X, diélectrique, etc.)

Caractéristiques

Régime de ralenti jusqu'à 13.500 tr/min
Maintien du vide passif ou actif
Programmes de vitesse intégrés
Large gamme de tables rotatives spéciales (sur mesure possible)

Plus d'informations

Les centrifugeuses SCI-225 mini sont conçues pour les applications de routine et ont une vitesse de ralenti maximale de 13 500 tr/min. Grâce à la conception spéciale des tables rotatives (trous percés radiaux), un maintien passif sous vide du substrat est obtenu à des vitesses de rotation moyennes à élevées.

Les modèles de spin coater SCR, SCE-150 et SCC-200 assurent un maintien actif sous vide des substrats à l'aide d'une pompe à vide externe. Le modèle SCE-150 offre une fonction de rampe programmable avec niveau de vitesse réglable ; le SCC-200 est capable de stocker dix routines de programme.

Applications

Les Spin Coaters sont idéaux pour déposer des films minces de tout type de matériau (photoresist, et autres vernis, polyimides, sol-gels, etc.) avec une épaisseur finement contrôlée et reproductible sur tout type de substrat (cuivre, silicium, verre, plastique, etc.). Au cours du processus de revêtement par rotation, ces substances liquides ou pâteuses sont distribuées sur des substrats en rotation rapide. Ces substances sont projetées radialement vers l'extérieur en raison des forces centrifuges qui se produisent, laissant un film mince (de l'ordre du nm au µm) sur le substrat.

Les spin coaters sont donc des outils idéaux pour la préparation de films minces et ultrafins notamment pour les applications spectroscopiques (optique, IR, rayons X, diélectrique etc.).