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Zygo : interféromètre de Fizeau par wavelength shifting pour les optiques à faces parallèles

Verifire MST par Zygo

Le Verifire MST fonctionne par interférométrie par accord de longueur d’onde (wavelength shifting). Cette technologie FTPSI brevetée par Zygo permet de discriminer les différentes « cavités optiques » formées par la présence d’optiques à faces parallèles.  Disponible en versions 4" et 6", le Verifire MST permet alors d’obtenir en une mesure unique les faces avant et arrière des optiques transparentes et leur variation d'épaisseur et, en suivant deux étapes bien déterminées le wedge entre les faces et l'homogénéité du matériau. Le Verifire MST peut mesurer des cavités à deux, trois et même quatre surfaces.

Caractéristiques
  • Mesure des optiques à faces parallèles
  • Capacité de mesurer des set-up optiques à deux, trois et quatre cavités.
  • Logiciel Zygo MX
  • Existe à différentes longueurs d’onde : 633 nm, 1053 nm, 1064 nm et 1,55 µm

Plus d'informations

Measuring an uncoated parallel plate gives two layered interferograms (a three-surface cavity) that only confuse standard Phase Shift Interferometry algorithms.

Zygo has solved this problem using wavelength shifting of phase, and Zygo's patented Fourier transform phase shifting interferometry (FTPSI). The Verifire MST can measure two-, three- and even four-surface cavities. Show all of the surfaces, or only the surfaces of interest. Artifacts are naturally suppressed using FTPSI.

Caractéristiques techniques

Applications

Fourier transform phase shifting interferometry (FTPSI) The Verifire MST can measure two-, three- and even four-surface cavities. Show all of the surfaces, or only the surfaces of interest, within MetroPro software. Artifacts are naturally suppressed using FTPSI, eliminating the need for an extended source.
Phase shifting Fizeau interferometer Measures surface form of reflective materials and optics, and transmitted wavefront of transparent optics
Form of optical spheres ISO 10110-5 Transmission spheres 4" or 6" input aperture
Fizeau interferometer for optical flats measurements

Vidéos

Thin Glass Metrology with ZYGO Verifire™ MST Laser Interferometer
Webinar: Overcoming Challenges of Measuring Plane Parallel Optics
Simultaneous measurements for precision metrology

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