Registrazione video del webinar "The MicroWriter ML®3 Direct-Write Lithography Tool: a versatile benchtop instrument for the rapid fabrication of samples"
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I sistemi MicroWriter ML®3 sono una famiglia di fotolitografi a scrittura diretta dedicati alla prototipazione rapida e alla micro-fabbricazione per i laboratori di ricerca e le camere bianche.
L’approccio classico alla fotolitografia si basa sulla realizzazione, da parte di aziende specializzate, di apposite maschere di cromo che guidano e definiscono il pattern da esporre.
Quando la prototipazione e lo studio di nuovi pattern diventa essenziale, come nei laboratori di ricerca e sviluppo, questo approccio richiede un enorme costo in termini economici e di tempo, proprio a causa della grande variabilità dei disegni e quindi delle specifiche maschere da realizzare.
La litografia a scrittura diretta o “mask-less” supera i limiti imposti poiché è in grado di produrre ogni tipo di prototipo senza la necessità di realizzare una maschera apposita. Un litografo a scrittura diretta infatti, utilizza un sofisticato comparto ottico per esporre il pattern direttamente sui fotoresist.
La grande versatilità di questa tecnica rende i sistemi MicroWriter ML®3 utili in una vasta gamma di settori e applicazioni tra le quali: la spintronica, la microfluidica e la microbiologia, la lavorazione del grafene o altri materiali bidimensionali, la realizzazione di MEMS e micro-ottica e molti altri.
In questo webinar abbiamo esplorato la tecnologia che sta alla base del sistema e descritto alcune delle caratteristiche chiave che rendono uniche queste soluzioni.
Successivamente ci siamo focalizzati sul software, con una dimostrazione in tempo reale di come eseguire un'esposizione. E' stato mostrato come, proprio grazie al software, gestire le esposizioni è estremamente semplice ed intuitivo. Infine sono state illustrate tutte le funzionalità che hanno reso questo software, e questi litografi, così popolari.
Relatori:
Dr. Anthony Beguivin - Senior Application Scientist in DMO
Alessio Spaziani - Sales Engineer in Quantum Design Italy
Durham Magneto Optics Ltd (DMO) è specializzata in strumentazione scientifica avanzata per la ricerca e lo sviluppo delle nanotecnologie.
Nei suoi 20 anni di vita, DMO ha venduto oltre 200 sistemi in 32 Paesi, cifre che sono in rapida crescita.