Apex XCT – sistema sub-micron CT ultraveloce per lo scanning di semiconduttori
da SIGRAYIl sistema Apex XCT supera i problemi comuni delle scansioni micro-CT di campioni basati su semiconduttori, tipicamente grandi wafer, schede grafiche o PCBs, riducendo i lunghi tempi di scansione e gli artefatti dell’immagine. Ciò è di vitale importanza nelle applicazioni di verifica dei componenti e failure analysis.
- Scansioni XRM 3D con risoluzione spaziale al sub-micron (0.5 μm) in pochi minuti
- Imaging 3D su campioni integri/completi di diametro fino a 300 mm
- Riduzione drastica degli artefatti di beam hardening
Maggiori informazioni
La tomografia computerizzata è una tecnica non distruttiva che viene utilizzata per ottenere informazioni sulla struttura 3D degli oggetti. Tuttavia, ci sono diversi problemi che accomunano i sistemi micro-CT tradizionali quando si misurano campioni basati su semiconduttori come dispositivi integrati, wafer e PCBs. Questo tipo di campioni richiede tempi di misurazione molto lunghi e i risultati dell’imaging sono spesso affetti da artefatti derivati da beam hardening, striature/cortinazioni, carenza di fotoni ed artefatti metallici. Il sistema Apex XCT supera questi problemi grazie alla sua architettura brevettata, mantenendo un tempo di acquisizione rapido e costante indipendentemente dalla taglia del campione.
Eliminazione degli artefatti nell’immagine
L’immagine riportata confronta la stessa regione tomografica scansionata con Apex XCT (a sinistra) e uno dei principali XRM/microCT convenzionali (a destra): il risultato dato dal sistema Apex XCT dimostra un notevole aumento della qualità dell’immagine combinato ad un tempo di scansione notevolmente ridotto.
La parte di computing è gestita dal software proprietario XRMCompanion, estendibile con la versione GigaRecon, software bundle per ricostruzione iterativa più veloce sul mercato.
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