Neu und kostengünstig – spektroskopisches
In-situ-Ellipsometer iSE
Abb. 1: Spektroskopisches In-situ-Ellipsometer iSE
Das spektroskopische Ellipsometer iSE wurde speziell für die In-situ-Überwachung von Schichtdicken und optischen Konstanten entwickelt.
Wie alle spektroskopischen Ellipsometer von Woollam bietet das neue iSE höchste Messgenauigkeit und liefert in Verbindung mit der bewährten Auswertesoftware CompleteEASE ein hohes Maß an Messinformation und Messempfindlichkeit.
Nur die Ellipsometer von Woollam liefern schnelle, spektroskopische Daten über einen breiten Wellenlängenbereich. Das iSE verwendet ein neues optisches Design mit Dual RotationTM in Kombination mit moderner CCD-Detektion.
Abb. 2: Optische Konstanten einer Metallschicht ändern sich als Funktion der Beschichtungszeit
Abb. 3: Filmwachstum während der ersten 25 Zyklen der ALD-Abscheidung, dargestellt gemeinsam mit den Änderungen in den ellipsometrischen Rohdaten
Ein Spektrum mit hunderten von Wellenlängen wird im Bruchteil einer Sekunde simultan aufgenommen. Durch die Dual-Rotation-Technik erübrigt sich ZoneAveraging, wodurch die schnellste Messzeit auch bereits höchste Empfindlichkeitsbedingungen liefert.
Im Vergleich zu bisherigen spektroskopischen Ellipsometern verfügt das iSE über eine extrem kompakte Bauweise, so dass es sich ideal zur Integration an Beschichtungsanlagen, wie z. B. ALD, anbietet. Auch wenn die Platzverhältnisse sehr eingeschränkt sind. Neben den kompakten Anbauteilen – Einstrahl- und Empfängereinheit – beinhaltet das System lediglich eine kleine Steuereinheit, welche mit dem externen PC und CompleteEASE über Ethernet kommuniziert.
| Geräteparameter | |
|---|---|
| Schnellste Messzeit | 0,3 Sekunden (alle Datentypen); typische Messzeit 1-2 Sekunden, jeweils für komplettes Spektrum |
| Messtechnik | Patentierte Dual-RotationTM-Optik mit CCD-Detektion |
| Spektralbereich | 400 –1000 nm, ~190 Wellenlängen |
| Messdatentypen | Psi, Delta, N, C, S, Depolarisation, generalisierte Ellipsometrie, Mueller Matrix |
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