Spektroskopische Ellipsometer
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Ellipsometrie, Einwellenlängenellipsometrie oder spektroskopische Ellipsometrie, ist eine Methode zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten dünner Filme und Substrate. Ellipsometer messen dabei die Polarisationsänderung aufgrund der Reflexion (bzw. der Transmission bei anisotropien Proben). Hier finden Sie das passende ...
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Ellipsometrie, Einwellenlängenellipsometrie oder spektroskopische Ellipsometrie, ist eine Methode zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten dünner Filme und Substrate. Ellipsometer messen dabei die Polarisationsänderung aufgrund der Reflexion (bzw. der Transmission bei anisotropien Proben). Hier finden Sie das passende spektrokopischen Ellipsometern für Ihre Aufgabenstellung. Das flexible Ellipsometer VASE und VUV-VASE basiert auf einem scannenden Monochromator und ist ideal für alle Anwendungen in R&D. Das VASE hat den weitesten Spektralbereich von 140 bis 4000 nm, bzw. in Kombination mit IR-VASE bis 30 µm. Alternativ stehen die schnellen CCD-basierten, rotating compensator Spektralellipsometer M-2000 und RC2, sowohl für ex-situ als auch für in-situ Anwendungen, zur Verfügung.
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