Zygo Verifire HD – Neues Fizeau-Interferometer mit höherer lateraler Auflösung
Der Einsatzbereich von Laserinterferometern war bisher auf die Analyse langwelliger Oberflächenstrukturen begrenzt. Die Erfassung kurzwelliger Strukturen bis hin zu Rauhheitsmessungen waren die Domäne der Coherence Scanning Interferometer (CSI) wie z. B. der NewView Weisslicht-Interferometer. Es existierte also eine Lücke bei der Erfassung der vollständigen Oberflächeninformation.
Der neue Verifire HD schließt nun diese Lücke, indem er die Vermessung höher frequenter Strukturen, den sogenannten Mid-Spatial Frequencies (siehe Bild), erlaubt. Erreicht wird dies durch eine verbesserte optische Abbildung und Kameras mit größerer Pixelanzahl. Zusätzlich können die Verfire HD Geräte mit einer Option zur Reduzierung kohärenter Artefakte ausgestattet werden. Das macht sie zum perfekten Messwerkzeug für deterministische Polierprozesse.
Einem Einsatz im produktionsnahen Umfeld steht ebenfalls nichts im Wege. Die schwingungsrobuste Zygo QPSI-Technologie zur Phasenmessung ist tolerant gegenüber den typischen Vibrationserscheinungen im Fertigungsbereich.
Eine beeindruckende Demonstration des Verfahrens können Sie sich hier ansehen:
https://youtu.be/QT_9RU180Wk
Zusammen mit den umfangreichen Software-Tools zur Beugungs- und PSD-Analyse der Zygo Mess- und Analysesoftware MX steht dem Anwender ein neues, mächtiges Werkzeug für die Oberflächenanalyse zur Verfügung.
Torsten Glaschke
06151 8806-51
glaschkezygolot.de
