Unser Partner

Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2

Von Woollam Co.

Das RC2 ist das erste spektroskopische Ellipsometer mit zwei rotierenden Kompensatoren. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen Technologien: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, modernstes Lichtquellen- und Spektrometerdesign. Das RC2 ist ein beinah universell einsetzbares Instrument für diverse Anwendungen der spektroskopischen und Müller-Matrix-Ellipsometrie.

Eigenschaften

Ex-situ, in-situ oder inline Setup
"Rotating Compensator" Ellipsometer
Modulares design mit einer Vielzahl an Optionen und Konfigurationen
Max. Spektralbereich 193 - 2500 nm
Vollautomatisch

Weitere Informationen

Das RC2 Design ist ist das Resultat 25jähriger Erfahrung. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen Technologien: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, modernstes Lichtquellen- und Spektrometerdesign. Durch das modulare Design kann das Ellipsometer an eine bestehende Prozesskammer oder jedes Tischbasisgerät angeschlossen werden. Neueste Technologie und Messoptionen wie verallgemeinerte Ellipsometrie, Müller-Matrix und Depolarisation gewährleisten präzise Ellipsometriemessungen für jede Probe.

Spezifikationen

Schnelle Messung

Die sychronisierte Rotation der beiden Kompensator liefern direkt “Zone Average”-Messungen. Das gesamte Spektrum von über 1000 Wellenlängen wird simultan innerhalb von 0.3 Sekunden gemessen.

Fortschrittliche Lichtquelle

Diese neue Generation von Lichtquelle bietet computergesteuerte Strahlintensität, um das Signal für jede Probe (niedrige oder hohe Reflexion) automatisch zu optimieren.

Wellenlängenbereich:

RC2-U/X: 210 bis 1000 nm
RC2-D: 193 bis 1000 nm
NIR-Erweiterung bis 1690 nm
XNIR-Erweiterung bis 2500 nm

Messzeit

Messung des gesamten Spektrums in 0.3 Sekunden – auch von erweiterten Datentypen wie komplette Mueller Matrix.

Verfügbare Einfallswinkeleinheiten

Fester Winkel: 65°
Horizontale Einfallswinkeleinheit (automatisiert): 45° - 90°
Vertikale Einfallswinkeleinheit (automatisiert): 20° - 90°

Optionen

Nahezu alle Optionen des M-2000 sind für das RC2 verfügbar:

Automatisierter XY-Mapping-Tisch (von 100 mm bis 450 mm)
Probenrotator
Fokusieroption
Flüssigzellen
Heizeinheiten
Etc.

Anwendungen

Optische Konstanten und Dicke, Anisotropie, Indexgradient, Zusammensetzung Das RC2 ist ein äußerst präzises System zur Bestimmung von optischen Konstanten, Dicken, optischer Anisotropie, Indexgradienten, Zusammensetzungen, etc.

Homogenität Dickenprofil In Kombination mit einem automatischen XY-Mappingtisch können anhand von automatischen Messrezepten die Homogenität, Dickenprofil, etc. der Probe vermessen werden.

Dynamische Messungen Adsorptionskinetik Dynamische Messungen können entweder mit dem In-situ-Paket, welches an einer UHV-Beschichtungskammer befestigt ist, oder mit Flüssigkeits- und Wärmezellen, die an ein ex-Situ RC2 gekoppelt sind, durchgeführt werden. So kann die zeitabhängige Adsportion von Molekülen aus einer flüssigen Umgebung in Echtzeit verfolgt und gemessen werden. Alternativ können temperaturabhängige Veränderungen an der Probe bestimmt werden, z. B. Phasenübergänge or die Glasübergangstemperatur von Polymeren.

Downloads

Spectroscopic ellipsometers product overview

RC2 brochure

In situ RC2 2018

In situ brochure

About Woollam Co.

Weiterführende Links

http://www.ake-pdv.org/

TeamViewer online support for spectroscopic ellipsometers

CompleteEASE video training series

Kontakt

Julien Dumouchel

Sales Manager

	+41 21 8699033
	+41 21 8699308
	E-Mail schreiben

Julien Dumouchel

Weitere Informationen anfordern

Verwandte Produkte

In-situ spektroskopisches Ellipsometer iSE

Das iSE ist ein neues spektroskopisches in-situ Ellipsometer, das für die Echtzeit-Überwachung von Dünnschichtwachstum entwickelt wurde. Mit unserer bewährten Technologie ermöglicht das iSE den ...

Schnelles spektroskopisches Ellipsometer M-2000

Das M-2000 Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 ...

Kostengünstiges präzises Tischgerät alpha 2.0

Das spektroskopische Ellipsometer alpha 2.0 ist ein schnelles, preiswertes System zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten. Das Gesamtsystem ist beeindruckend klein und kompakt ohne ...

Spektroskopisches Ellipsometer VASE

Das VASE ist unser genaustes und vielseitigstes Ellipsometer für die Untersuchung an allen Arten von Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multi-Schichten und mehr.

Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE

Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht ...

FTIR-Ellipsometer IR-VASE

IR-VASE ist das erste und einzige spektroskopische Ellipsometer, das einen spektralen Bereich von 1.7 - 30 µm (333 bis 5900 Wellenzahlen) abdeckt. Das IR-VASE erlaubt die genaue Bestimmung der ...

Spektroskopisches Ellipsometer T-Solar

T-Solar, ein intensitätsoptimiertes M-2000-Ellipsometer, ist speziell auf die Anforderungen bei der Messung texturierter Si-Wafer-Oberflächen ausgerichtet.

Telefon:	+41 21 8699-033
E-Mail:	suisseqd-europe.com