Schnelles spektroskopisches Ellipsometer M-2000
von Woollam Co.Das M-2000 Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 Sekunde. Konfiguriert für ex-situ oder in-situ Messungen.
- Ex-situ, in-situ oder inline Setup
- "Rotating Compensator" Ellipsometer
- Modulares design mit einer Vielzahl an Optionen und Konfigurationen
- Max. Spektralbereich 193 - 1690 nm
- Vollautomatisch
Weitere Informationen
Das M-2000 verwendet die patentierte Rotating Compensator Ellipsometer (RCE) Technologie, um höchste Genauigkeit zu erreichen. Das RCE Design ist mit neuester CCD Technik kombinierbar. Dadurch lassen sich ALLE Wellenlängen gleichzeitig messen. Das M-2000 detektiert über 700 verschiedene Wellenlängen vom Ultraviolett bis ins nahe Infrarot. Durch das modulare Design kann das Ellipsometer an eine bestehende Prozesskammer oder jedes Tischbasisgerät angeschlossen werden. Neueste Technologie und Messoptionen wie verallgemeinerte Ellipsometrie, Müller Matrix und Depolarisation gewährleisten präzise Ellipsometriemessungen für jede Probe.
Spezifikationen
Verfügbare Spektralbereiche
- M-2000V: 370 bis 1000 nm (390 Wellenlängen)
- M-2000U/X: 245 bis 1000 nm (470 Wellenlängen)
- M-2000D: 193 bis 1000 nm (500 Wellenlängen)
- NIR-Erweiterung: 1010 bis 1690 nm (200 Wellenlängen)
NIR Erweiterung
- Erweiterter Spektralbereich für die Modelle "V", "U/X" und "D" bis 1690 nm mit zusätzlich 200 Wellenlängen, 1000 nm bis 1690 nm
Verfügbare Ex-situ-Winkeleinheiten
Einwinkeleinheit, horizontale Probenhalterung: 60° oder 65°
Manuell einstellbare Einfallswinkel (45° bis 90°, kontinuierlich), horizontale Probenhalterung
Automatisierte Einfallswinkel, vertikale (20° bis 90°) oder horizontale (45° bis 90°) Probenhalterung
In-Situ-Paket
Beinhaltet UHV Fenster für Beschichtungskammer, Verkippeinheiten und alle Anbauteile zur Montage des M-2000® an 2" Vakuumflange
Automatisierte Probentranslation
- 100 mm x 100 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
- 200mm x 200 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
- 300mm x 300 mm XY (nur horizontale Probehalterung)
Manuelle Probentranslation
- 50 mm x 50 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)
- 100 mm x 100 mm XY (nur horizontale Probenhalterung)
Fokussierung
Spotgröße 150 bis 300 µm (abhängig vom Modell) im ganzen Spektralbereich
Für Standardspotgröße können Fokusoptiken einfach abgenommen werden
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