Die Oberflächentopographie großer optischer Teile messen

Der von dem Prüfgerätehersteller Zygo, Middlefield/USA und Darmstadt, entwickelte Zygo Portable Profiler ist ein tragbares Weißlicht-Interferometer, das sich sehr gut einsetzen lässt, um die 3D-Oberflächentopographie großer optischer Teile mit polierter sowie geschliffener Oberfläche zu vermessen. Die vertikale Auflösung liegt unter 0,1 nm, die Wiederholbarkeit der RMS-Werte beträgt < 0,05 nm. Wegen seiner asymetrischen Form kann das Gerät auch nahe an den Außenkanten von Prüfobjekten eingesetzt werden. Das Gerät ist so konstruiert, dass die Standard-Mikroskopobjektive von Zygo mit einer Vergrößerung von 2,75x bis 100x genutzt werden können. Eine integrierte Fokussierhilfe erleichtert das Justieren. Die Bedienung erfolgt über die neue, einfach zu handhabende Mess-Software Mx™, die eine intuitive Messnavigation ermöglicht und genaue 3D-Darstellungen der Oberflächentopographie erzeugt; die Messergebnisse entsprechen der ISO/DIS-Norm 25178. Mit Hilfe der SureScan™-Technologie arbeitet das Gerät auch unter ungünstigen Vibrationsbedingungen sehr präzise.


Zygo Corporation und ZygoLOT

Die weltweit tätige Zygo Corporation entwickelt, fertigt und installiert optische Messinstrumente und Präzisionsoptiken. Anwender sind neben der optischen Industrie die Halbleiter-Industrie, die biomedizinische Technik, die Wissenschaft und verschiedene weitere Industriebereiche. Für den europaweiten Vertrieb der Zygo-Messgeräte mitsamt Service ist der Prüfgerätehersteller ZygoLOT GmbH, Darmstadt, zuständig.

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