Vorvakuum oder Hochvakuum? Machen Sie selbst den Vergleich in unserem Demolabor!
In Ausgabe 153 des Spectrum haben wir Ihnen bereits den neusten Hochvakuumbeschichter Q150V ES Plus vorgestellt.
Nun erwartet Sie auch das Vorvakuummodell Q150R ES Plus in unserem Demolabor.
Sputter Coater oder Kohleverdampfer die mit Vorvakuum arbeiten, wie der Q150R ES Plus, eignen sich für leitfähige Beschichtungen bei Anwendungen im Desktop- oder Wolfram-Kathoden-SEM. Hier ist die Auflösung nicht so hoch, dass man durch eine eventuelle Körnigkeit der Metallschichten eingeschränkt sein könnte. Es ist somit die preisgünstigere Lösung, seine Proben mit einer dünnen, leitfähigen Schicht zu versehen. Abbildung 2 zeigt den Unterschied, den der Basiskammerdruck beim Sputtern von Gold machen kann.
Abb. 2: Dünne Goldschichten auf Nanofasern – gesputtert mit den drei verschiedenen Q150-Modellen – dargestellt bei 400.000-facher Vergrößerung des SEMs (Skalenbalken: 100 nm). Der unterschiedliche Basiskammerdruck vor dem eigentlichen Sputtervorgang hat einen deutlichen Einfluss auf die gesputterte Schicht – je niedriger der Kammerdruck bevor das Prozessgas eingeleitet wird um so feiner die Goldschicht.
Sie sind sich nicht sicher, ob Vor- oder Hochvakuum die richtige Lösung für Ihre Proben ist? Machen Sie bei uns den direkten Vergleich. Egal ob Sputterbeschichtung, Kohlestab- oder Kohlefadenverdampfung – Sie können mit uns die verschiedenen Prozesse bei unterschiedlichem Basiskammerdruck vergleichen.
Vereinbaren Sie einen Demotermin oder lassen Sie uns Proben zur Testbeschichtung zukommen.
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