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Zygo : interféromètre vertical 300mm

Verifire XL par Zygo

L'interféromètre Verifire XL est un banc de travail vertical autonome conçu pour une métrologie simple et fiable de grandes surfaces planes polies jusqu'à 300 mm de diamètre. Le Verifire XL permet de caractériser les optiques polies une face ou à faces non-parallèles, les miroirs et les wafers jusqu’à 12″.

Caractéristiques

Diamètre 12" (300 mm)
Système autonome à faible encombrement au sol
Acquisitions PSI (13 buckets) et QPSI (30 buckets) anti-vibratoire
Isolation antivibratoire incluse
Chargement et alignement aisé des échantillons

Plus d'informations

The Verifire XL system includes ZYGO's patented QPSI acquisition technology which enables reliable high-precision measurements in the presence of vibration. QPSI enables true on-axis surface form metrology, without degradation from typical production vibrations.