Abb. 1: Q300TES, Detail
Neu und exklusiv für die Q300 TES kann jetzt ein Leitfähigkeitsmonitor (Conductance Film Monitor/CFM) bestellt werden. Der CFM (s. Abb. 1) ermöglicht die Überwachung des Schichtwiderstandes von aufgedampften oder durch Kathodenzerstäubung aufgesputterten Schichten, sowie die Terminierung des Beschichtungsprozesses bei Erreichen eines Zielwiderstands. Q300TES von Quorum Technologies ist ein vollautomatisches Beschichtungssystem mit einfacher, intuitiver Touch-Screen-Steuerung. Der Rezipient hat ein Volumen von ca. 16 Litern (Ø 30 cm x Höhe 21,5 cm) und ist damit für die meisten Proben mehr als ausreichend. Für die präzise Messung des Druckes ist ein Penning-Vakuummessgerät verbaut. Die integrierte Turbomolekularpumpe erreicht das typische Arbeitsvakuum (5x10-5 mbar) in wenigen Minuten.
Abb. 2: Widerstandsverdampfungskopf
Abb. 3: Kohlenstoffverdampfungskopf
Abb. 4: Kathodenzerstäubungskopf
Die enthaltenen Funktionen sind Metallwiderstandsverdampfung (Abb. 2), Kohlenstoffbedampfung mit Kohlestab oder Kohlefaden als Quelle (Abb. 3) und Hochvakuum-Sputtern (Abb. 4). Proben mit einem Durchmesser von bis zu 4″ (10 cm, Kohle/Sputter) bzw. 6″ (15 cm, Metallverdampfung) können mittels eines Schwingquarzmonitors oder des Leitfähigkeitsmonitors kontrolliert beschichtet werden.
Abb. 5: Sonnen-/Planetensystem
Neu ist ebenfalls die optionale sonnensystemartig aufgebaute Probenbühne (Abb. 5), bei der 3 Probenteller (Planeten) mit 92 mm Durchmesser um den Mittelpunkt (Sonne) der Probenkammer kreisen. Sowohl der optionale CFM als auch die Probenbühne sind exklusiv für die Q300TES erhältlich.
