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Sputter Coater & Kohlebeschichter

Sputter Coater und Kohlebedampfer werden zur Abscheidung einer dünnen Metall- bzw. Kohleschicht auf Substratoberflächen eingesetzt. In der Elektronenmikroskopie werden durch Sputtern oder Kohleverdampfung elektrisch nicht-leitende Oberflächen elektrisch leitfähig gemacht, da sich ansonsten die Elektronen aus dem Elektronenstrahl des Mikroskops auf der Probe sammeln und diese sich auflädt. ... 

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Sputter Coater und Kohlebedampfer werden zur Abscheidung einer dünnen Metall- bzw. Kohleschicht auf Substratoberflächen eingesetzt. In der Elektronenmikroskopie werden durch Sputtern oder Kohleverdampfung elektrisch nicht-leitende Oberflächen elektrisch leitfähig gemacht, da sich ansonsten die Elektronen aus dem Elektronenstrahl des Mikroskops auf der Probe sammeln und diese sich auflädt. Aufladung führt dazu, dass man Oberflächen mit einem REM nicht mehr abbilden kann. Die angestrebten Schichtdicken sind möglichst dünn, aber effektiv elektrisch leitend und haben eine Schichtdicke von 2 - 20 nm. Kohlenstoff wird aufgrund der geringen Röntgenabsorption in der EDX- und WDX-Analyse und zur Herstellung von TEM-Supportfilmen verwendet.

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