Microwriter an der UPVfab in València

UPVfab, die Mikrofabrikationsanlage der Universitat Politècnica de València, hat ein direktschreibendes Photolithographiesystem MicroWriter 3 Pro erworben, um die Lithographielinie zu vervollständigen. Die Mikrofabrikationanlage umfasst 500 m2 Reinräume nach ISO-7 (Klasse 10.000) und Positionen, die mit Automatisierungswerkzeugen für die Backend-Bearbeitung von Halbleiterwafern ausgestattet sind. Die neue Ausrüstung wurde von der Regionalregierung Generalitat Valenciana durch das Projekt GVA/IDIFEDER/2021/046 "Multi-level Microfabrication Technologies (T-MFAB-MN)" als Teil einer Strategie zur Ausstattung der Einrichtung für die Mikrofabrikation in den technischen Disziplinen Photonik, Elektronik und Chemietechnik finanziert.

Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an:

UPVfab
Dr. Gloria Micó
Facility Manager, UPVfab Microfabrication Facility,
Universitat Politècnica de València
Phone: +34.963.879.760
Mail: gloria.mico@upv.es  
https://www.fab.upv.es/

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