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Hoch genaue und schnelle Piezo-Positionierer

Ob nun das Ausrichten von Spiegeln, Lithografie, das Rotieren von Gittern oder die Steuerung von Laserstrahlen: In immer mehr Anwendungen ist nicht nur Präzision, sondern auch Ge­schwindigkeit gefragt. Beides ist jedoch nur schwer miteinander vereinbar. 

Queensgate, einem britischen Her­steller von Piezo-Positionierern, ist genau dieses Kunststück gelungen. Die Positionierer haben Schrittweiten von unter einem Nanometer bei einer Absetzzeit von nur einer Millisekunde. Da das Piezo-Element nie schneller als seine Elektronik ist, hat Queensgate eine Serie von Controllern mit hoher Update-Rate entwickelt. 

Über einen kapazitiven Sensor wird die exakte Position mit Pikometer-Genauigkeit ausgelesen und eine Wiederholbarkeit von nur 0,3 nm erreicht. Die Verkipp-Tische für Spiegel sind auf eine hohe Resonanzfrequenz getrimmt, so dass sie den Spiegel mit hoher Geschwindigkeit bewegen kön­nen, ohne Kompromisse bei der Ge­nauigkeit. Damit sind sie das ideale Tool für die Steuerung eines La­ser­strahles. 

Da die Positionierer teils für Welt­raum­­anwendungen eingesetzt werden, sind sie wartungsfrei und für eine sehr hohe Lebensdauer konzipiert. 

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Dr. Tobias Adler
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