Self-Sensing Cantilever – Seeing and Feeling in the Nanoworld

SCL-Sen­sor.Tech aus Österreich ist der Markt­führer für selbstauslesende piezoresistive Mess­sonden, den sogenannten Self-Sensing Cantilevern.

Die selbstauslesenden Cantilever sind mit einer Vollbrücke aus piezo­resistiven Sensorelementen ausge­stattet, die die Auslenkung rein elek­trisch messen. Dadurch entfällt die typischerweise verwendete optische Auslesung per Laser direkt über dem Cantilever. Der frei gewordene Raum ermöglicht eine Vielzahl neuer Anwendungen unter Luft und Vakuum in Bereichen wie z.B. der Rasterkraftmikroskopie (AFM), Torque-Magnetometrie, Kraft-Messungen und Gas-Sensorik. Die  Can­ti­lever sind auf einem 5,9 mm x 4,8 mm kleinen PCB inklusive Stecker aufgebracht, was Hand­habung und Wechsel stark vereinfacht und beschleunigt.

Die Cantilever sind mit unterschiedlichen Geometrien, Federkonstanten und Resonanzfrequenzen verfügbar. Zusätzlich besteht bei einer Anfrage von größeren Stückzahlen die Mög­lichkeit für die Herstellung von kundenspezifischen Versionen. 

Ne­ben unter­schiedlichen Geometrien sind auch unterschiedliche Spitzen-Aus­füh­­rungen verfügbar. Can­ti­le­ver mit einer klassischen Sili­zium­­spitze, einer ultra-harten Dia­mant­spitze (SCD) oder in spitzenloser Aus­führung (Tipless) ermöglichen un­ter­­schiedlichste Anwendungen. Sie bilden z. B. die Grundla­ge für ein völlig neuartiges Rasterkraft­mikroskop, das AFSEM, welches von unserem Part­ner­unternehmen GETec Micro­scopy (www.getec-afm.com)  für die Integration in kom­merzielle Elektro­nen­mikro­skope (REM) ent­wickelt wurde (Abb. 2).