Über Empfindlichkeit und Rauschen bei VSM-Messungen – Nachtrag

In der letzten Ausgabe des Spectrum hatten wir einen Beitrag über Empfindlichkeit und Rauschen im Rahmen von VSM-Messungen. Nun habe ich von zwei Lesern Rückmeldungen erhalten, die ich gerne weitergeben bzw. zusammenfassen möchte.

Ein Leser aus Halle (Saale) verweist zu dem Thema Begrifflichkeiten in der Metrologie auf eine Veröffentlichung aus dem Jahr 1990 [1]. Die Autoren C. J. Powell und M. P. Seah fassen die verschiedenen metrologischen Begriffe wie Wiederholbarkeit, Genauigkeit, Richtigkeit, systematischer Fehler etc. zusammen. Insgesamt werden 16 (!) Begriffe beschrieben. Die beiden Autoren beziehen sich dabei auf eine ISO-Veröffentlichung. Die aktuelle Version finden Sie unter [2].

Ein Spectrumleser aus Braunschweig weist darauf hin, dass es sich bei Empfindlichkeit und Rauschen um zwei verschiedene Größen handelt, die primär nicht miteinander verknüpft sind. Die Empfindlichkeit wird über die DIN1319 [3] definiert, und zwar als die „Änderung des Wertes der Ausgangsgröße (z.B. eine Spannung) bezogen auf die Änderung des Wertes einer Eingangsgröße (z.B. Magnetfeld)“. Das Rauschen hingegen kann durch die spektrale Rauschleistungsdichte beschrieben werden. Rauschen ist die Überlagerung zahlloser Einzelvorgänge ohne die Möglichkeit sie deterministisch zu beschreiben.

Ein herzliches Dankeschön nach Halle (Saale) und Braunschweig!

  1. C. J. Powell, M.P. Seah, „Precision, accuracy, and uncertainty in quantitative surface analyses by Auger-electron spectroscopy and x-ray photoelectron spectroscopy” Journal of Vacuum Science & Technology A 8, 735 (1990)
  2. Bureau International des Poids et Mesures “International Vocabulary of Metrology”
  3. Wikipedia: Empfindlichkeit

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