Spektroskopische Ellipsometer

Ellipsometrie, Einwellenlängenellipsometrie oder spektrokopische Ellipsometrie, ist eine Methode zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten dünner Filme und Substrate. Ein ... mehr 

Ellipsometrie, Einwellenlängenellipsometrie oder spektrokopische Ellipsometrie, ist eine Methode zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten dünner Filme und Substrate. Ein Ellipsometer, sowohl ein Einwellenlängen- als auch ein spektroskopisches Ellipsometer, misst dabei die Polarisationsänderung aufgrund der Reflektion (bzw. der Transmission bei anisotropien Proben).

Wir bieten eine breite Palette von spektrokopischen Ellipsometern an, die für die jeweilige Aufgabenstellung optimiert sind. Das flexible Ellipsometer VASE und VUV-VASE basiert auf einem scannenden Monochromator und ist ideal für alle Anwendungen in R&D. Das VASE hat den weitesten Spektralbereich von 140 bis 4000 nm, bzw. in Kombination mit IR-VASE bis 30 µm. Alternativ stehen die schnellen CCD basierenden, „rotating compensator“ Spektralellipsometer M-2000 und RC2, sowohl für ex-situ als auch für in-situ Anwendungen, zur Verfügung.

Spektroskopische Ellipsometer - Kleine Einführung: Ellipsometrie
Kleine Einführung: Ellipsometrie

Was genau ist Ellipsometrie? Diese kurze Einführung in die Ellipsometrie richtet sich an Neulinge und bietet eine grundlegende Beschreibung ellipsometrischer Messungen und Datenanalyse-Prozesse. Auch ...


Spektroskopische Ellipsometer - Kompaktes theta-SE für schnelles Probenmapping
Kompaktes theta-SE für schnelles Probenmapping

Das theta-SE ist ein spektroskopisches Ellipsometer für Knopfdruck-Bedienung zur Homogenitäts-Charakterisierung von Dünnschichten. Es bietet fortschrittliche Ellipsometrie-Technologie in einem ...


Spektroskopische Ellipsometer - In-situ spectroscopisches Ellipsometer iSE
In-situ spectroscopisches Ellipsometer iSE

Das iSE ist ein neues in situ-spektroskopisches Ellipsometer, das für die Echtzeit-Überwachung von Dünnschichtwachstum entwickelt wurde. Mit unserer bewährten Technologie ermöglicht das iSE den ...


Spektroskopische Ellipsometer - Schnelles spektroskopisches Ellipsometer M-2000
Schnelles spektroskopisches Ellipsometer M-2000

Das M-2000 Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 ...


Spektroskopische Ellipsometer - Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2
Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2

Das RC2 ist das erste spektroskopische Ellipsometer mit zwei rotierenden Kompensatoren. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen neuen Technologien: zwei rotierende ...


Spektroskopische Ellipsometer - Kostengünstiges präzises Tischgerät Alpha-SE
Kostengünstiges präzises Tischgerät Alpha-SE

Das spektroskopische Ellipsometer Alpha-SE ist ein schnelles, preiswertes System zur Bestimmung von Schichtdicken und optischen Konstanten. Das Gesamtsystem ist beeindruckend klein und kompakt ohne ...


Spektroskopische Ellipsometer - Spektroskopisches Ellipsometer VASE
Spektroskopisches Ellipsometer VASE

Das VASE ist unser genaustes und vielseitigstes Ellipsometer für die Untersuchung an allen Arten von Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multi-Schichten und mehr.


Spektroskopische Ellipsometer - Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE
Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE

Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht ...


Spektroskopische Ellipsometer - FTIR-Ellipsometer IR-VASE
FTIR-Ellipsometer IR-VASE

IR-VASE ist das erste und einzige spektroskopische Ellipsometer, das einen spektralen Bereich von 1.7 - 30 µm (333 bis 5900 Wellenzahlen) abdeckt. Das IR-VASE erlaubt die genaue Bestimmung der ...


Spektroskopische Ellipsometer - Spektroskopisches Ellipsometer T-Solar
Spektroskopisches Ellipsometer T-Solar

T-Solar, ein intensitätsoptimiertes M-2000-Ellipsometer, ist speziell auf die Anforderungen bei der Messung texturierter Si-Wafer-Oberflächen ausgerichtet.

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