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Hoch genaue und schnelle Piezo-Positionierer
Ob nun das Ausrichten von Spiegeln, Lithografie, das Rotieren von Gittern oder die Steuerung von Laserstrahlen: In immer mehr Anwendungen ist nicht nur Präzision, sondern auch Geschwindigkeit gefragt. Beides ist jedoch nur schwer miteinander vereinbar.
Queensgate, einem britischen Hersteller von Piezo-Positionierern, ist genau dieses Kunststück gelungen. Die Positionierer haben Schrittweiten von unter einem Nanometer bei einer Absetzzeit von nur einer Millisekunde. Da das Piezo-Element nie schneller als seine Elektronik ist, hat Queensgate eine Serie von Controllern mit hoher Update-Rate entwickelt.
Über einen kapazitiven Sensor wird die exakte Position mit Pikometer-Genauigkeit ausgelesen und eine Wiederholbarkeit von nur 0,3 nm erreicht. Die Verkipp-Tische für Spiegel sind auf eine hohe Resonanzfrequenz getrimmt, so dass sie den Spiegel mit hoher Geschwindigkeit bewegen können, ohne Kompromisse bei der Genauigkeit. Damit sind sie das ideale Tool für die Steuerung eines Laserstrahles.
Da die Positionierer teils für Weltraumanwendungen eingesetzt werden, sind sie wartungsfrei und für eine sehr hohe Lebensdauer konzipiert.
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