Toho Stress Tools – Verbesserter Algorithmus zur Korrektur von scheinbaren Reflexionswinkeländerungen
Scheinbare und korrigierte Krümmungen einer flachen Probe als Funktion der Probenneigung. Die quadratischen Punkte sind die gemessen-en Krümmungen ohne Korrektur, die Dreiecke stellen die korrigierten Krümmungen mit dem verbesserten Algorithmus dar
Bei der optischen Cantilever-Technik wird ein Laserstrahl über das Probensubstrat gescannt. Die Neigung der Substratoberfläche wird durch Überwachung des Strahlreflexionswinkels entlang der Scanrichtung gemessen. Dieser Algorithmus korrigiert Fehler in den gemessenen Winkeln, die auf die Neigung und die Krümmung der Probe zurückzuführen sind.
Dieser Algorithmus berücksichtigt die Tatsache, dass der scheinbare Reflexionswinkel eine Funktion der Höhe der Substratoberfläche über der horizontalen Ebene ist. Mithilfe dieses Algorithmus können die Krümmungen neu berechnet und die korrigierten Krümmungen (Dreiecke) zum Vergleich unten aufgetragen werden.
Bei der Messung unregelmäßiger Proben kann die Toho FLX-Serie die Messung der Dünnschichtspannung unterstützen. Der verbesserte Algorithmus berücksichtigt die Tatsache, dass der scheinbare Reflexionswinkel eine Funktion der Höhe der Substratoberfläche über der horizontalen Ebene ist.
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