Desktop-Rasterelektronenmikroskop für Bildgebung und Elementanalyse – NANOS

NANOS von Semplor

Das NANOS von Semplor ist ein kompaktes Desktop-Rasterelektronenmikroskop für hochauflösende Bildgebung, Materialkontrast und optional integrierte EDX-Analyse. Sekundär- und Rückstreuelektronendetektoren liefern detaillierte Informationen zu Oberflächentopografie und Materialzusammensetzung. Das System verbindet kompakte Abmessungen mit flexiblem Probenhandling, Hoch- und Niedervakuum sowie einer motorisierten XY-Probenbühne.

Features

REM-Auflösung < 8 nm und Vergrößerung von 100- bis 200.000-fach
Everhart-Thornley-Sekundärelektronendetektor und Vier-Quadranten-BSE-Detektor für Topografie und Materialkontrast
Mit oder ohne EDX erhältlich; in der EDX-Konfiguration vollständig integrierter 30-mm²-Silizium-Drift-Detektor
Hochvakuum und Niedervakuum bei 40 Pa für leitende und nichtleitende Proben
Motorisierte XY-Probenbühne und euzentrische Kippung von +15° bis -40°
Anwenderwechselbares Wolfram-Filament

Further information

Oberflächentopografie und Materialkontrast

Der Everhart-Thornley-Sekundärelektronendetektor bildet feine Oberflächenstrukturen mit hoher Detailtreue ab. Der Vier-Quadranten-Rückstreuelektronendetektor macht Unterschiede in der mittleren Ordnungszahl sichtbar und liefert Materialkontrast. Seine einzeln ansteuerbaren Segmente ermöglichen zusätzlich richtungsabhängige topografische Darstellungen. SE- und BSE-Signale lassen sich überlagern oder nebeneinander anzeigen, sodass Topografie und Zusammensetzung direkt verglichen werden können.

BSE-Aufnahme: Unterschiede in der Materialzusammensetzung

SE-Aufnahme: Oberflächentopografie

EDX-Analyse mit integriertem Silizium-Drift-Detektor

Das NANOS kann mit oder ohne EDX bestellt werden. In der EDX-Konfiguration ist ein thermoelektrisch gekühlter Silizium-Drift-Detektor vollständig in das System integriert. Die aktive Fläche beträgt 30 mm², die Energieauflösung < 132 eV bei Mn Kα. Elemente von Bor bis Americium können mit Punktanalysen, Linienanalysen und ortsaufgelösten Elementkarten untersucht werden.

Für die Auswertung steht optional Discover EDS zur Verfügung. Die Software verbindet REM-Bildgebung und EDX-Auswertung in einer Oberfläche. Live-Spektren und Live-Mapping geben bereits während der Aufnahme visuelles Feedback. Automatische Peak-Identifizierung, Untergrundkorrektur, Peak-Entfaltung und standardlose Quantifizierung unterstützen die Auswertung. Messdaten, Aufnahmeparameter und Probenpositionen bleiben im Projekt gespeichert und können später erneut analysiert und dokumentiert werden.

Discover EDS verbindet REM-Bildgebung, Spektrum und ortsaufgelöste Elementkarten.

Probennavigation, Probenbühne und Vakuum

Eine adaptive Farbkamera erfasst nach dem Einsetzen der Probe eine optische Übersicht der Probenoberfläche. Interessante Bereiche lassen sich so schnell lokalisieren und gezielt anfahren.

Die motorisierte XY-Bühne bietet 25 x 25 mm Verfahrweg. Die euzentrische Kippung hält den ausgewählten Probenbereich beim Kippen im Fokus; der Winkel wird in der Bedienoberfläche angezeigt.

Euzentrische Kippung hält den ausgewählten Probenbereich im Fokus.

Das NANOS arbeitet im Hochvakuum für hochauflösende Bildgebung und im Niedervakuum bei 40 Pa. Der Niedervakuummodus reduziert Aufladungseffekte bei nichtleitenden Proben und kann den Präparationsaufwand verringern. Proben bis 45 mm Durchmesser und 19 mm Höhe können aufgenommen werden; optional sind bis zu 40 mm Probenhöhe möglich. Bei maximalem Probendurchmesser ist der verfügbare Kippbereich eingeschränkt.

Leicht zugängliche Probenkammer des NANOS.

Optionaler Probenhalter für Proben bis 40 mm Höhe.

Optionale Softwaremodule für Partikel-, Faser- und 3D-Analysen

Die in die Bedienoberfläche integrierten Explore-Module erweitern die REM-Bildgebung um quantitative Auswertungen:

Explore Particles erkennt, segmentiert und vermisst Partikel, Poren und Körner und gibt Größenverteilungen und Formparameter aus.
Explore Fibers bestimmt Länge, Durchmesser, Ausrichtung und Krümmung von Fasern und unterstützt die Stapelverarbeitung größerer Datensätze.
Explore 3D erzeugt 3D-Rekonstruktionen, Höhenkarten und Rauheitsstatistiken aus REM-Aufnahmen.

Explore Particles

Explore 3D

Explore Fibers

Für hohe Verfügbarkeit und niedrige Folgekosten entwickelt

Das NANOS benötigt keinen Reinraum und keine spezielle Laborinfrastruktur. Mit Abmessungen von 280 x 470 x 550 mm und einem Gewicht von 62 kg lässt sich das System auch in Laborumgebungen mit begrenztem Platzangebot einsetzen.

Das Wolfram-Filament ist für den Austausch durch den Anwender ausgelegt. Dadurch lassen sich typische Wartungsarbeiten ohne aufwendigen Eingriff in das System durchführen.

Austausch des Wolfram-Filaments am NANOS.

Anwendungen

Das NANOS unterstützt bildgebende, analytische und quantitative Aufgaben in Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle.

Material- und Mikrostrukturanalyse: Gefüge, Phasen, Poren, Einschlüsse, Bruchflächen und lokale Elementverteilungen in Metallen, Keramiken, Mineralen und Verbundwerkstoffen.

Oberflächen, Beschichtungen und Grenzflächen: Topografie, Schichtmorphologie, Korrosion, Verschleiß, Grenzflächen und Defekte an funktionalen oder technischen Oberflächen.

Partikel-, Poren- und Pulveranalyse: Morphologie, Größe, Form und Verteilung von Partikeln, Poren und Körnern; quantitative Auswertung mit Explore Particles.

Faser- und Umweltanalytik: Charakterisierung von Fasern, Mikroplastik, Feinstaub und Kontaminationen; quantitative Faseranalyse mit Explore Fibers.

Fehleranalyse und Qualitätskontrolle: Brüche, Fremdpartikel, Rückstände, technische Sauberkeit und produktionsbedingte Abweichungen.

Biologische, medizinische und pharmazeutische Proben: Biologische Strukturen, Biomaterialien, Implantatoberflächen sowie Wirk-, Hilfs- und Fremdstoffe – abhängig von Präparation und Vakuumeignung.

Specifications

Elektronenoptik und Bildgebung

REM-Auflösung	< 8 nm
Vergrößerung	100- bis 200.000-fach
Bildauflösung	bis 4096 x 4096 Pixel
Beschleunigungsspannungen	1, 2, 5, 7, 10, 15 und 20 kV
Elektronenquelle	thermionische Wolframquelle
Bilddetektoren	Everhart-Thornley-SED; Vier-Quadranten-BSE

EDX – je nach Konfiguration

Detektor	thermoelektrisch gekühlter Silizium-Drift-Detektor
Aktive Fläche	30 mm²
Energieauflösung	< 132 eV bei Mn Kα
Maximale Zählrate	300.000 cps
Detektierbare Elemente	Bor (B, 5) bis Americium (Am, 95)
Analysearten	Punktanalyse, Linienanalyse und Element-Mapping
Mapping-Auflösung	bis 2048 x 2048 Pixel

Vakuum und Probenbühne

Vakuum	Hochvakuum; Niedervakuum 40 Pa
XY-Verfahrweg	motorisiert, 25 x 25 mm
Kippung	manuell, euzentrisch; +15° bis -40°
Probendurchmesser	bis 45 mm
Probenhöhe	bis 19 mm; optional bis 40 mm

Systemdaten

Abmessungen	280 (B) x 470 (T) x 550 (H) mm
Gewicht	62 kg
Umgebungsbedingungen	15-25 °C; 20-80 % relative Luftfeuchtigkeit
Leistungsaufnahme	typisch 110 W; maximal 140 W

Phone:	+90 532 3205241
E-mail:	turkeyqd-europe.com