Die meisten unserer Sputter Coater finden Anwendung in Laboren für die Elektronenmikroskopie. Sie werden verwendet, um nichtleitende Proben mit einer leitfähigen Schicht zu versehen. Hier ist es wichtig, dass wir möglichst dünne, hochwertige Schichten sputtern. Die Geräte können aber noch viel mehr. Die Hochvakuumgeräte sind nicht nur in der Lage, Edelmetalle zu Sputtern, sondern können auch für die Beschichtung mit oxidierendem Material verwendet werden, wie etwa Chrom, Wolfram, Aluminium, Titan und Weitere. Die Geräte können bis zu 60 Minuten lang Sputtern, so dass auch dickere Beschichtungen möglich sind. So befinden sich auch einige unserer Geräte in Forschungslaboren, wo sie zum Beispiel Kontakte für Bauteile, wie Batterien, liefern.

Heute stellen wir Ihnen den Q300T D Plus von Quorum Technologies vor. Es handelts sich um einen „Dual-Target Sputter Coater“. Er ist mit zwei Targets ausgestattet mit dem Ziel, sequentielle Beschichtungen vornehmen zu können, ohne das Vakuum zu brechen. Gerade wenn man Kontakte aus Gold herstellen möchte, ist es wichtig, dass diese auch gut auf der Probe, bzw. dem Bauteil, haften und das Anbringen von Drähten o.Ä. ermöglichen. Gold ist nicht gerade für seine Haftfähigkeit bekannt, man kann jedoch Abhilfe schaffen, indem man eine dünne Haftschicht unter die Goldschicht bringt. Diese ist z.B. aus Chrom oder Titan. Damit sie nicht bereits an Luft wieder passiviert oder oxidiert – wir wollen ja die haftenden Eigenschaften dieser Schicht aufrechterhalten – ist es wichtig, dass wir das Vakuum zwischen dem Aufbringen der beiden Schichten nicht brechen. Der Q300T D Plus ist genau dafür gemacht. Die sogenannte „Swinging-Arm“ Probenbühne fährt den Waferteller (der auch viele kleine Proben fassen kann) zwischen den beiden Targets hin und her. Standardmäßig wird das Gerät bereits mit einem Chrom- und einem Goldtarget geliefert. So kann als erstes eine dünne Chromhaftschicht aufgebracht werden und dann fährt das Gerät automatisch zum Goldtarget und es wird die finale Goldschicht aufgesputtert. In den Rezepten geben Sie vorher alle Parameter ein und das Gerät macht den Rest allein – Abpumpen, Gas einlassen, Chromtarget von der Oxidschicht befreien, Sputtern, usw. Es sind sogar größere Schichtsysteme möglich, die mit einem Sputtervorgang (Sputterrezept) hergestellt werden können, wie Sie in Abb. 1 sehen.
Der Q300T D Plus kann auch mit zwei Schichtdickenmonitoren ausgerüstet werden – je einem pro Target. So kann auch angegeben werden, welche Schichtdicke gesputtert werden soll.

Für weitere Informationen sehen Sie sich gerne die Produktbroschüre auf unserer Webseite an oder wenden Sie sich an uns mit Ihren Fragen.

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