Woollam Newsletter #20 ist da

Der neue Woollam Newsletter mit vielen interessanten Artikeln rund um das Thema spektroskopische Ellipsometrie ist erschienen.
Schon traditionell ist die Sparte „Featured Researcher“, in der dieses Mal Prof. Ludvik Martinu von der Polytechnique Montreal vorgestellt wird. Seine Forschungen umfassen unter anderem ellipsometrische Arbeiten bei ALD- und PECVD-Beschichtungen, sowie die Untersuchung von temperaturabhängigen Eigenschaften von VO2.
Die Harland Tompkins Story würdigt das Lebenswerk eines Experten, der durch viele wichtige Bücher zur Ellipsometrie und speziell zur spektroskopischen Ellipsometrie in der Community bekannt und hochgeschätzt ist.

Bei den Produktneuigkeiten wird das theta-SE vorgestellt - ein spektroskopisches Ellipsometer, das speziell für schnelle Homogenitätsuntersuchung bezüglich Schichtdicke und optischer Konstanten von großflächigen Proben bis zu einem Durchmesser von 300 mm entwickelt wurde. Die Dual-Rotating-Technik in Verbindung mit der patentierten kamerabasierten Probenjustage ermöglicht präzise spektroskopische Messungen mit hoher Geschwindigkeit. Geliefert wird das theta-SE mit der Fokussieroption und ermöglicht aufgrund des kleinen Messflecks somit Messungen mit hoher lateraler Auflösung.

Selbst mit dem 300 mm-Mappingtisch handelt es um ein kompaktes Tischsystem mit komplett integrierter Elektronik, das nicht größer ist als unser Alpha-SE.
Wie auch das Alpha-SE, M-2000 und RC2 verwendet das theta-SE die leistungsfähige und anwenderfreundliche CompleteEASE-Software. Die Benutzeroberfläche ermöglicht die Erstellung automatisierter Rezepte mit frei programmierbaren Scanmustern, schneller Datenerfassung und automatischen Analysemodellen.

Weitere Artikel des Newsletters:

  • About Woollam Co.
  • 2020 in Zahlen
  • Linkam Fallstudie: Temperaturabhängige Ellipsometrie (Abb. 4)
  • Software Update: CompleteEASE 6
  • Ellipsometrie Webinar-Serien

Woollam Newsletter #20

Mehr über spektroskopische Ellipsometer

Spezifikationen

Spektralbereich400-1000 nm
Mappingbereichbis 300 mm Durchmesser

Datenerfassungsrate

0,3 s (schnellste)
1-2 s (typisch)
SpotgrößeNominell: 250 x 600 µm
(auf der Probe)
Einfallswinkel65°
DatentypenSpektroskopische Ellipsometrie, g-SE- oder Mueller-Matrix

 

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