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In-situ spektroskopisches Ellipsometer iSE

Von Woollam Co.

Das iSE ist ein neues spektroskopisches in-situ Ellipsometer, das für die Echtzeit-Überwachung von Dünnschichtwachstum entwickelt wurde. Mit unserer bewährten Technologie ermöglicht das iSE den Anwendern, optische Eigenschaften von abgeschiedenen Filmen zu optimieren, das Filmwachstum mit Sub-Angström-Empfindlichkeit zu kontrollieren und die Wachstumskinetik zu überwachen.

Eigenschaften

In-situ
Dual rotating element Ellipsometer
Klein und kompakt
Preisgünstig
Schnelle Messzeit
Bedienerfreundlich

Weitere Informationen

Fast alle in-situ Messaufgaben erfordern spektroskopische Ellipsometrie, für viele Anwendungen ist jedoch ein Spektralbereichdes iSE von 400 bis 1000nm völlig ausreichend. Bei höchster Messgenauigkeit. Mit der kompakten Bauweise, lässt sich das iSE auch an komplexe Beschichtungsanlage mit wenig Platz anbauen. Die hohe Messgeschwindigkeit erlaubt schnelle Wachstumsprozesse in Echtzeit zu verfolgen und mit der leistungsfähigen CompleteEASE-Software Informationen an die Anlage zurückmelden für Prozesssteuerung.

Spezifikationen

Spektralbereich: 400 nm bis 1000 nm
Anzahl der Wellenlängen (simultan gemessen): 190
Detektor: CCD
Messzeit: 0.3 Sek (schnellste Messzeit), 1-2 Sek (typisch)
Strahldurchmesser: ~3mm
Anforderungen an Beschichtungsanlage: Portgröße: 2.75“ CF (1.33“ CF optional),
Typische Einfallswinkel (Portwinkel): 60° - 75° ** bezogen auf Probennormale

Anwendungen

Bestimmung der Dicke von dünnen Schichten von Einzel- und Mehrschichtsystemen

Optische Konstanten

Wachstums- und Ätzrate

Prozesskinetik

Oberflächenqualität vor und nach Prozess

Echtzeit-Endpunkt-Detektion

ALD, CVD, MBE, Sputtern, etc.

Downloads

Spectroscopic ellipsometers - product overview

iSE brochure 2017

In situ iSE 2018

Videos

iSE JAW Booth

iSE Product Video

Kontakt

Thomas Wagner

Produkt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften

	+49 6157 80710-68
	+49 6157 80710968
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