Kompaktes theta-SE für schnelles Probenmapping
von Woollam Co.Das theta-SE ist ein spektroskopisches Ellipsometer für Knopfdruck-Bedienung zur Homogenitäts-Charakterisierung von Dünnschichten. Es bietet fortschrittliche Ellipsometrie-Technologie in einem kompakten Gehäuse zu erschwinglichem Preis.
- Voll integriertes System
- Hohe Geschwindigkeit
- Kompakt
- Bedienerfreundlich
- Kostengünstig
Weitere Informationen
Das theta-SE ist mit 300 mm automatisiertem Probentisch, kleinem Messstrahl, schneller automatischer Probenjustage, Kamera und unserer neuesten Dual-Rotating Ellipsometer-Technologie ausgestattet. Das theta-SE hat alles, was Sie benötigen, um die laterale Homogenität Ihrer Schichtdicke und optischen Eigenschaften zu messen.
Spezifikationen
- Spektralbereich: 400 bis 1000nm
- Anzahl der Wellenlängen (simultan gemessen): 190
- Detektor: CCD
- Messfleck: 250 x 600µm (auf Probe)
- Messzeit (pro Messpunkt, gesamtes Spektrum): 0.3 Sek (schnellste Messzeit), 1-2 Sek (typisch)
- Einfallswinkel: 65°
- Datentypen: Spektroskopische Ellipsometrie und g-SE oder Mueller Matrix-SE
Anwendungen
Optische Konstanten
Schichtdicken
Homogenitäts-Dickenprofil
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Wagner
Produkt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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