Spetralbereich: 400 nm bis 1000 nm (190 Wellenlängen)
Einfallswinkel: 65°, 70° und 75° und Transmission (manuell)
Computerverbindung: USB
Automatisierte z-Justage
Messzeit: 5 - 10 Sekunden
Optische Konstanten und Dicke, Anisotropie, Indexgradient, Zusammensetzung
Das Alpha-SE ist ein äußerst präzises System zur Bestimmung von optischen Konstanten, Dicken, optischer Anisotropie, Indexgradienten, Zusammensetzungen, etc.
Dielektrische Schichten
Mit schnellen Messgeschwindigkeiten und einfacher Bedienung per Knopfdruck eignet sich das Alpha-SE optimal zur Charakterisierung dünner Schichten. Einschichtige Dielektrika auf Silikon- oder Glasssubstraten können in Sekunden gemessen werden. Zum schnellen Vergleich können die gemessenen Daten in graphischer und tabellarischer Form dargestellt werden.
Selbst-organisierende Monoschichten (SAM)
Mit spektroskopischer Ellipsometrie lassen sich auch bei sehr dünnen Schichten (<10 nm) Informationen zur Phase gewinnen. Selbst-organisierende Monoschichten (SAM) können mit dem Alpha-SE schnell vermessen und verglichen werden.
Absorbierende Schichten
Beschichtungen auf Glas
In-situ spektroskopisches Ellipsometer iSE
Das iSE ist ein neues spektroskopisches in-situ Ellipsometer, das für die Echtzeit-Überwachung von Dünnschichtwachstum entwickelt wurde. Mit unserer bewährten Technologie ermöglicht das iSE den ...
Schnelles spektroskopisches Ellipsometer M-2000
Das M-2000 Ellipsometer kombiniert als erstes System die 'rotating compensator'-Methode mit der CCD-Technologie. Damit ist eine sehr hohe Meßgeschwindigkeit möglich: mindestens 390 Wellenlängen in < 1 ...
Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2
Das RC2 ist das erste spektroskopische Ellipsometer mit zwei rotierenden Kompensatoren. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen Technologien: zwei rotierende ...
Spektroskopisches Ellipsometer VASE
Das VASE ist unser genaustes und vielseitigstes Ellipsometer für die Untersuchung an allen Arten von Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multi-Schichten und mehr.
Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE
Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht ...
FTIR-Ellipsometer IR-VASE
IR-VASE ist das erste und einzige spektroskopische Ellipsometer, das einen spektralen Bereich von 1.7 - 30 µm (333 bis 5900 Wellenzahlen) abdeckt. Das IR-VASE erlaubt die genaue Bestimmung der ...
Spektroskopisches Ellipsometer T-Solar
T-Solar, ein intensitätsoptimiertes M-2000-Ellipsometer, ist speziell auf die Anforderungen bei der Messung texturierter Si-Wafer-Oberflächen ausgerichtet.