Sputter-Targets / Materialien

Durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) können Proben bzw. Substrate mit einer großen Bandbreite an Metallen / Metall-Legierungen oder elektrisch leitende Materialien beschichtet werden. Das Beschichtungsmaterial wird als Sputter-Target bezeichnet.

Eigenschaften

Targets für alle aktuellen Quorum Geräte
Scheibentargets (Ø 57mm) auch für ältere Modelle von Quorum/Emitech/Polaron/…
Hochreine Metalle/Legierungen
Große Auswahl an Materialien
Weitere Materialien und Maße auf Anfrage

Spezifikationen

Scheibentargets (Ø 57mm)
Nutzbar für: E5000 / E5200 / E5400/ SC502/ SC7610 / SC7620 / Q150R (S/ES) Plus / Q150T (S/ES) Plus / Q150V (S/ES) Plus / Q300T(D/T) Plus* / K5 75X(XD) / K675X(XD) / SC3000
Gold / (Au)
Gold/Palladium (80% / 20%) / (Au / Pd)
Gold/Palladium (60% / 40%) / (Au / Pd)
Platin / (Pt)
Platin/Palladium (80%/20%) / (Pt / Pd)
Palladium / (Pd)
Silber / (Ag)
Kupfer / (Cu)
Nickel / (Ni)

Scheibentargets (Ø 57mm) für Hochvakuum Sputter Coater
Für den Einsatz in folgenden Geräten: Q150T (S/ES) Plus / Q150V (S/ES) Plus / Q300T(D/T) Plus* / K575X(XD) / K675X(XD) / SC3000
Aluminium / (Al)
Kohlenstoff / (C)
Chrom / (Cr)
Cobalt / (Co)
Indium Zinnoxid (ITO)
Iridium / (Ir)
Eisen / (Fe)
Magnesium / (Mg)
Molybdän / (Mo)
Wolfram / (W)
Titan / (Ti)
Tantal / (Ta)
Zinn/ (Sn)