FTIR-Ellipsometer IR-VASE
Von Woollam Co.IR-VASE ist das erste und einzige spektroskopische Ellipsometer, das einen spektralen Bereich von 1.7 - 30 µm (333 bis 5900 Wellenzahlen) abdeckt. Das IR-VASE erlaubt die genaue Bestimmung der optischen Konstanten n und k über den gesamten Spektralbereich, ohne dass die Daten außerhalb des Meßbereichs mit einer Kramers-Kronig-Analyse extrapoliert werden müssen. Wie die anderen Ellipsometer von Woollam eignet sich das IR-VASE optimal für dünne Schichten oder Materialien wie Dielektrika, Halbleiter, Polymere und Metalle.
- "Rotating Compensator" Ellipsometer
- Größter Spektralbereich
- Vertikale Probenhalterung
- Kombiniert Ellipsometrie und Transmission
Weitere Informationen
Zerstörungsfreie Charakterisierung
Das IR-VASE ermöglicht die berührungslose Bestimmung von Materialeigenschaften wie Dicke, optische Konstanten, Materialzusammensetzung, chemische Bindung, Dotierungskonzentration und vieles mehr. Die Messungen benötigen kein Vakuum und unterstützen die Analyse von flüssigen/festen Grenzflächen in biologischen und chemischen Anwendungen.
Weder Grundlinie noch Referenzprobe benötigt
Ellipsometrie ist eine Modulationstechnik, die weder Scans noch Referenzproben benötigt, um hochpräzise Ergebnisse zu liefern. Selbst Proben, die kleiner als der Strahldurchmesser sind, können analysiert werden, da nicht der gesamte Strahl eingefangen werden muss.
Höchste Genauigkeit
Patentierte Kalibrations- und Datenaufnahmemethoden gleichen die Effekte mangelhafter optischer Elemente aus und erlauben präzise Messungen von Ψ und Δ.
Spezifikationen
- Spektralbereich: 1,7 µm bis 30 µm (weiter bei gut reflektierenden Proben)
- Vertikale Probenhalterung
- Motorisiertes Einfallswinkeleinheit: 32° bis 90°.
- Ellipsometrie, Transmission und Reflexion, Müller-Matrix, verallgemeinerte Ellipsometrie, Depolarisation
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