Alpha-SE Ellipsomètre Spectroscopique de table

Woollam Co.

L’Alpha-SE est un instrument presse-bouton extrêmement simple à utiliser et parfait pour les mesures de routine d'épaisseur de couches minces et d'indice de réfraction. Il s’agit d’un système compact pouvant être placé sur une table et qui est contrôlé par ordinateur.

Caractéristiques
  • Ex-situ
  • Ellipsometer à compensateur tournant
  • Compacte
  • Abordable
  • Semi-automatique

Plus d'informations

L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures fiables et précises. Cette technique RCE lui assure des mesures ellipsométriques complètes (sans singulairité) pour tout type d'échantillon. Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Caractéristiques techniques

Spectral range: 380 nm to 900 nm (180 wavelengths)

Angle of incidence: 65°, 70° and 75°, as well as straight-through

Computer connection: USB (1.1 or higher)

Automated sample height adjustment

Data acquisition time:

  • 3 sec. (Fast mode)
  • 10 sec. (Standard mode)
  • 30 sec. (Long mode)

Gamme spectrale unique: 380 à 900 nm (180 wavelengths)

Station à 4 angles fixes: 65°, 70°, 75° et 90°

Positionnement en Z automatisé

Connexion simple via USB

Temps de mesure

3 sec. à 30 sec.

Options

  • cellule liquide
  • adaptation mécanique pour QCM-D
  • système de focalisation
  • porte-échantillon en transmission
  • platine de translation
  • caméra

Applications

Epaisseur de couche, indice complexe du matériau, gradient d'indice, anisotropie, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées Le Alpha-SE™ est compact, robuste et simple d'usage. Il permet d'obtenir de façon précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.
Films diélectriques La simplicité et la rapidité de mesure de l'Alpha-SE™ le rendent idéal pour les mesures de routines des films minces.
Monocouches auto-assemblées (S.A.M.) En ellipsométrie spectroscopique, l'information de phase des mesures est fortement sensible pour les couches très fines (< 10nm). Ainsi les SAM peuvent aisément analysées et comparées avec le Alpha-SE™.
Films absorbants Coating on glass

Téléchargements

Spectroscopic ellipsometers overview
alpha 2.0 brochure
About Woollam Co.

Vidéos

Video Player is loading.
Current Time 0:00
Duration -:-
Loaded: 0%
Stream Type LIVE
Remaining Time -:-
 
1x
    • Chapters
    • descriptions off, selected
    • subtitles off, selected

      Contact

      Jean-Paul Gaston
      Jean-Paul Gaston

      Produits connexes

      iSE Ellipsomètre spectroscopique in situ
      L'iSE est un ellipsomètre spectroscopique compact in situ développé pour le suivi de croissance de couches minces en temps réel avec une sensibilité inférieure à l'angstrom.
      M-2000 Ellipsomètre Spectroscopique Polyvalent
      Le M-2000 offre à la fois vitesse et précision. Le système utilise la technique RCE (Ellipsométrie à compensateur tournant) brevetée et permet la détection CCD de tout le spectre (centaines de ...
      RCE Ellipsomètre à double compensateur tournant
      Le RC2 est le premier ellipsomètre spectroscopique à double compensateurs tournants ce qui lui permet d’atteindre un niveau de précision ultime et de mesurer les 16 éléments de la matrice de Mueller ...
      VASE large gamme et haute résolution spectrale
      Le VASE est l’ellipsomètre le plus précis et le plus polyvalent pour la recherche sur tous les types de matériaux comme les semi-conducteurs, les diélectriques, les polymères, les métaux, les ...
      VUV-VASE Ultraviolet sous vide
      L'ellipsomètre spectroscopique à angle variable VUV-VASE® est la référence en matière de caractérisation optique des couches minces lithographiques. Il mesure les longueurs d'onde de l'ultraviolet ...
      IR-VASE Ellipsomètre FTIR
      L'IR-VASE est le premier et le seul ellipsomètre spectroscopique à couvrir la gamme spectrale de 1,7 à 30 microns (333 à 5900 nombres d'ondes). L'IR-VASE peut déterminer n et k pour les matériaux sur ...
      Ellipsomètre T-Solar
      L'ellipsomètre Woollam T-Solar™ est un M-2000™ dont l'intensité lumineuse a été optimisée en vue de la caractérisation des wafers Silicium texturés. Comme le M-2000™, il combine la méthode RCE ...

      Contact

      Quantum Design SAS

      Avenue de l’Atlantique
      Bâtiment Fuji Yama
      91940 Les Ulis
      France

      Tél. :01 69 19 49 49
      Email :franceqd-europe.com
      Jean-Paul GastonIngénieur Technico-Commercial Ellipsomètres Woollam - Potentiostats Zahner - MP-SPR BioNavis
      01 69 19 49 49
      Écrire un email