VASE large gamme et haute résolution spectrale
Woollam Co.Le VASE est l’ellipsomètre le plus précis et le plus polyvalent pour la recherche sur tous les types de matériaux comme les semi-conducteurs, les diélectriques, les polymères, les métaux, les multicouches, etc. Il combine une grande précision avec une large gamme spectrale de 193 à 4000 nm.
- Ex-situ
- Large gamme spectrale de 193 à 4000 nm
- Haute précision
- Haute resolution spectrale
Plus d'informations
Le VASE combine grande précision spectrale et large gamme spectrale (193 nm à 4000 nm). Les variations de longueur d'onde et d'angle d'incidence donne une grande flexbilité dans les applications :
- ellipsométrie en réflexion et transmission
- ellipsométrie généralisée
- intensité de réflexion (R)
- intensité de transmission (T)
- cross-polarized R/T
- dépolarisation
- diffusion
- matrice de Mueller
Précision maximale
L'ellipsomètre VASE de Woollam fonctionne selon la technique RAE (rotating analyzer ellipsometer) combinée avec un AutoRetarder breveté.
Grande précision de sélection en longueur d'onde
Le monochromateur HS-190™ a été conçu spécifiquement pour l'ellipsométrie spectroscopique. Il optimise de façon automatisée la vitesse de mesure, la précision et le résolution spectrales et la quantité de lumière.
Large choix de mesures
Le VASE a été conçu avec un porte-échantillon vertical afin de s'adapter à une très large variété de mesures incluant réflexion, transmission et diffusion.
Caractéristiques techniques
- Porte-échantillon vertical
- Goniomètre automatisé theta-2theta : 20° - 90°
- Gamme spectale standard : 250 - 2500 nm
- Option DUV : dès 193 nm
- Options NIR : jusqu'à 3,2 µm ou 4,0 µm
- Porte-échantillon automatisé XY pour mapping : 50x50 mm
- Porte-échantillon manuel XY : 50x50 mm
- Rotation d'échantillon automatisée
- Option focalisation : spot 200 µm
- Option Cryostat (4.2 à 500 K ou 4.2 à 800 K)
- Cellule thermique (RT à 300 °C ou -80 °C à +600 °C)
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