Ellissometro Spettroscopico veloce M-2000

Range spettrali disponibili:

• M-2000V: 370-1000 nm (390 lunghezze d'onda)
• M-2000U/X: 245-1000 nm (470 lunghezze d'onda)
• M-2000D: 193-1000 nm (500 lunghezze d'onda)
• Estensione NIR: 1010-1690 nm (200 lunghezze d'onda)

Opzioni disponibili

• Estensione NIR
• Un array di diodi NIR esetnde il range spettrale di tutti i modelli "V", "U/X" e "D" fino a 1690 nm con l'aggiunta di ulteriori 200 lunghezze d'onda

Stage e goniometri ex-situ disponibili:

• Stage ad angolo di incidenza fisso (65°), geometria a campione orizzontale
• Goniometro motorizzato e controllato via computer, geometria a campione orizzontale, range di angoli di incidenza: 45°-90°
  Goniometro motorizzato e controllato via computer, geometria a campione verticale, range di angoli di incidenza: 20°-90°

Configurazione in-Situ
Include set di finestre UHV per l'integrazione su camere UHV, unità di tilting per l'allineamento di sorgente e rivelatore, e staffe per il montaggio degli elementi sulle flange

Mapping stage motorizzati per goniometri/stage a geometria orizzontale:

• 100 mm x 100 mm XY
• 200mm x 200 mm XY 
• 300mm x 300 mm XY

Mapping stage motorizzati per goniometri/stage a geometria verticale:

•  50 mm x 50 mm XY
• 150mm x 150 mm XY 

Focusing probes:

• Sistema di focalizzazione dello spot di misura tramite lenti rimuovibili
• Dimensione minima dello spot fra 120 e 300 µm (a seconda del modello)

**per spot di dimensioni più piccole (a partire da 25 µm) è disponibile il modello M-2000F (ad angolo di incidenza fisso)