Ellissometro Spettroscopico in-situ iSE
da Woollam Co.Il Sistema iSE è un nuovo ellissometro spettroscopico in-situ sviluppato per il monitoraggio in tempo reale dei processi su film sottili. Impiegando la comprovata tecnologia Woollam, l’ellissometro iSE permette di ottimizzare le proprietà ottiche di film depositati, monitorare la crescita dei film con sensibilità del sub-angstrom ed eseguire misure dinamiche per il controllo delle cinetiche di processo.
- In-situ
- Tecnologia a compensatore rotante (RCE)
- Design ottico Dual-Rotating combinato con rilevazione tramite CCD
- Design compatto
- Low-cost
- Elevata velocità di misura
- Easy-to-use
Maggiori informazioni
Quasi tutte le applicazioni in situ richiedono l’ellissometria spettroscopica come tecnica di misura e, per gran parte di esse, un intervallo spettrale compreso tra 400 e 1000 nm, come quello disponibile per il sistema iSE, è perfettamente sufficiente. Grazie al suo design compatto, senza compromettere l'accuratezza e la precisione di misura, l’ellissometro iSE può essere installato all’interno di camere di deposizione complesse anche con poco spazio disponibile. L'elevata velocità di misura consente il monitoraggio della crescita ed il controllo del processo in tempo reale tramite comunicazione tra il potente software CompleteEASE ed il sistema di controllo della camera di deposizione.
Specifiche
- Range spettrale: 400 nm - 1000 nm
- Numero di lunghezze d’onda misurate simultaneamente: 190
- Detector: CCD
- Velocità di acquisizione: 0.3 sec (fastest), 1-2 sec (typical)
- Diametro del fascio: ~3mm
- Requisiti della camera:
- Port size: 2.75” CF (1.33” CF opzionale)
- Angolo della porta tipico (angolo di incidenza): 60° - 75°, misurato dalla normale del campione
Applicazioni
Downloads
Video
Contatti
Navigazione
Categorie
Contatti
Quantum Design s.r.l.
Via Francesco Sapori, 27
00143 Roma
Italy
| Telefono: | +39 06 5004204 |
| Fax: | +39 06 5010389 |
| E-mail: | italyqd-europe.com |
