Ellissometro Spettroscopico veloce M-2000
Woollam Co.L'ellissometro spettroscopico M-2000 combina l'elevata accuratezza della tecnologia a compensatore rotante (RCE) con un'acquisizione spettroscopica multicanale (CCD). Ciò permette un'impareggiabile velocità di misura: fino a 700 lunghezze d'onda in meno di 1 secondo! M-2000™ è disponibile sia in configurazione ex-situ che in-situ per il monitoraggio ral-time di processi di deposizione e crescita.
- Ex-situ, in-situ e in-line
- Tecnologia a compensatore rotante (RCE)
- Sistema modulare con ampia varietà di opzioni e configurazioni
- Range spettrale: fino a 193-1690 nm
- Completamente automatico
Maggiori informazioni
L'M-2000 impiega una tecnologia brevettata a compensatore rotante (RCE) che garantisce elevata accuratezza e precisione. La tecnologia RCE è compatibile con un'acquisizione multicanale tramite CCD permettendo così la misura simultanea dell'intero spettro: fino a più di 700 lunghezze d'onda acquisite contemporaneamente, dall'ultravioletto fino al vicino infrarosso. Grazie al suo design estremamente modulare, l'M-2000 può essere istallato direttamente su una camera di deposizione per misure in-situ, o integrato in uno dei numerosi stage e goniometri ex-situ disponibili. M-2000 garantisce misure ellissometriche accurate per qualsiasi tipologia di campione, ed include misure avanzate quali Ellissometria Generallizzata, Matrici di Mueller e misura della depolarizzazione.
Specifiche
Range spettrali disponibili:
- M-2000V: 370-1000 nm (390 lunghezze d'onda)
- M-2000U/X: 245-1000 nm (470 lunghezze d'onda)
- M-2000D: 193-1000 nm (500 lunghezze d'onda)
- Estensione NIR: 1010-1690 nm (200 lunghezze d'onda)
Opzioni disponibili
- Estensione NIR
- Un array di diodi NIR esetnde il range spettrale di tutti i modelli "V", "U/X" e "D" fino a 1690 nm con l'aggiunta di ulteriori 200 lunghezze d'onda
Stage e goniometri ex-situ disponibili:
- Stage ad angolo di incidenza fisso (65°), geometria a campione orizzontale
- Goniometro motorizzato e controllato via computer, geometria a campione orizzontale, range di angoli di incidenza: 45°-90°
Goniometro motorizzato e controllato via computer, geometria a campione verticale, range di angoli di incidenza: 20°-90°
Configurazione in-Situ
Include set di finestre UHV per l'integrazione su camere UHV, unità di tilting per l'allineamento di sorgente e rivelatore, e staffe per il montaggio degli elementi sulle flange
Mapping stage motorizzati per goniometri/stage a geometria orizzontale:
- 100 mm x 100 mm XY
- 200mm x 200 mm XY
- 300mm x 300 mm XY
Mapping stage motorizzati per goniometri/stage a geometria verticale:
- 50 mm x 50 mm XY
- 150mm x 150 mm XY
Focusing probes:
- Sistema di focalizzazione dello spot di misura tramite lenti rimuovibili
- Dimensione minima dello spot fra 120 e 300 µm (a seconda del modello)
**per spot di dimensioni più piccole (a partire da 25 µm) è disponibile il modello M-2000F (ad angolo di incidenza fisso)
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