Alpha-SE Ellipsomètre Spectroscopique de table

Woollam Co.

L’Alpha-SE est un instrument presse-bouton extrêmement simple à utiliser et parfait pour les mesures de routine d'épaisseur de couches minces et d'indice de réfraction. Il s’agit d’un système compact pouvant être placé sur une table et qui est contrôlé par ordinateur.

Caractéristiques
  • Ex-situ
  • Ellipsometer à compensateur tournant
  • Compacte
  • Abordable
  • Semi-automatique

Plus d'informations

L'ellipsomètre Woollam Alpha-SE™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures fiables et précises. Cette technique RCE lui assure des mesures ellipsométriques complètes (sans singulairité) pour tout type d'échantillon. Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.

Caractéristiques techniques

Spectral range: 380 nm to 900 nm (180 wavelengths)

Angle of incidence: 65°, 70° and 75°, as well as straight-through

Computer connection: USB (1.1 or higher)

Automated sample height adjustment

Data acquisition time:

  • 3 sec. (Fast mode)
  • 10 sec. (Standard mode)
  • 30 sec. (Long mode)

Gamme spectrale unique: 380 à 900 nm (180 wavelengths)

Station à 4 angles fixes: 65°, 70°, 75° et 90°

Positionnement en Z automatisé

Connexion simple via USB

Temps de mesure

3 sec. à 30 sec.

Options

  • cellule liquide
  • adaptation mécanique pour QCM-D
  • système de focalisation
  • porte-échantillon en transmission
  • platine de translation
  • caméra

Applications

Epaisseur de couche, indice complexe du matériau, gradient d'indice, anisotropie, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées Le Alpha-SE™ est compact, robuste et simple d'usage. Il permet d'obtenir de façon précise et répétable de nombreux paramètres des couches étudiées, notamment, l'épaisseur, l'indice complexe du matériau, le gradient d'indice, l'anisotropie, la rugosité d'interface, les coefficients de la matrice de Mueller, la dépolarisation.
Films diélectriques La simplicité et la rapidité de mesure de l'Alpha-SE™ le rendent idéal pour les mesures de routines des films minces.
Monocouches auto-assemblées (S.A.M.) En ellipsométrie spectroscopique, l'information de phase des mesures est fortement sensible pour les couches très fines (< 10nm). Ainsi les SAM peuvent aisément analysées et comparées avec le Alpha-SE™.
Films absorbants Coating on glass

Téléchargements

Spectroscopic ellipsometers overview
alpha 2.0 specification
alpha 2.0 brochure
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Gauthier Caby
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