iSE Ellipsomètre spectroscopique in situ
Woollam Co.L'iSE est un ellipsomètre spectroscopique compact in situ développé pour le suivi de croissance de couches minces en temps réel avec une sensibilité inférieure à l'angstrom.
- In-situ
- Ellipsomètre à double éléments rotatifs
- Petit et compacte
- Abordable
- Acquisition rapide
- Simple à utiliser
Plus d'informations
Nearly all in-situ measurement applications require spectroscopic ellipsometry, but for many applications, a spectral range of 400 to 1000nm, like with iSE is completely sufficient. Without compromising on accuracy or precision. With its compact design, the iSE can also be installed at complex deposition chambers with little space available. The high measuring speed allows fast growth monitoring and real-time process control by communication of the powerful CompleteEASE software with the control center of the deposition chamber.
Caractéristiques techniques
Spectral range: 400 nm to 1000 nm
Number of wavelengths (measured simultaneously): 190
Detector: CCD
Data acquisition rate: 0.3 sec (fastest), 1-2 sec (typical)
Beam diameter: ~3mm
Chamber requirements:
Port size: 2.75” CF (1.33” CF optional)
Typical port angle (angle of incidence): 60° - 75°*
* measured from sample normal
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