Ellipsométrie spectroscopique
Woollam Newsletter
Video - Woollam Co Ellipsometer
L'ellipsométrie spectroscopique est une technique optique de caractérisation des surfaces et des couches minces. Elle mesure le changement de polarisation de la lumière après réflexions par un matériau (ou en transmission dans le cas d'échantillons anisotropes). En analysant cette variation, on peut déduire des informations des couches minces ...
plus
Woollam Newsletter
Video - Woollam Co Ellipsometer
L'ellipsométrie spectroscopique est une technique optique de caractérisation des surfaces et des couches minces. Elle mesure le changement de polarisation de la lumière après réflexions par un matériau (ou en transmission dans le cas d'échantillons anisotropes). En analysant cette variation, on peut déduire des informations des couches minces comme :
- L'épaisseur
- Les propriétés optiques : indice de réfraction (n) et coefficient d’absorption (k)
- Le band gap
- La rugosité de surface
- La couche d’interface
- La composition (jusqu’à 3 matériaux)
- La cristallinité
- L’anisotropie
- L’uniformité
La société J.A.Woollam propose une grande variété d'ellipsomètres spectroscopiques afin de couvrir toutes les applications. L'ellipsomètre VASE, basé sur un monochromateur à balayage, couvre la plus large gamme spectrale disponible : de 140 nm à 4000 nm ce qui fait de lui un instrument parfait pour la recherche tout comme l'IR-VASE (1,7 µm à 35 µm). Les ellipsomètre à détection instantanée (capteur CCD) viennent compléter la gamme. A compensateur tournant simple (M2000 et Alpha-SE) ou double (iSE et RC2), ces ellipsomètres sont parfaits pour les mesures ex-situ (goniomètre avec porte-échantillons manuels ou automatisés) ainsi que pour les applications in situ (fixation directe sur bâti de dépôt ou à travers une cellule liquide ou environnementale).
Cette méthode est largement utilisée dans la recherche et l'industrie pour l'étude des semi-conducteurs, des matériaux optiques et des films minces en général. Elle est non destructive, précise, et permet une analyse sur une large gamme spectrale, d'où le terme "spectroscopique".
moins
Qu’est-ce que l’Ellipsométrie ? Cette brève introduction à l'ellipsométrie est destinée aux novices et fournit une description fondamentale des mesures ellipsométrique et des méthodes classiques ...
L’Alpha-SE est un instrument presse-bouton extrêmement simple à utiliser et parfait pour les mesures de routine d'épaisseur de couches minces et d'indice de réfraction. Il s’agit d’un système compact ...
L'iSE est un ellipsomètre spectroscopique compact in situ développé pour le suivi de croissance de couches minces en temps réel avec une sensibilité inférieure à l'angstrom.
Le theta-SE est un ellipsomètre spectroscopique presse-bouton pour la caractérisation de l'uniformité des couches minces. Il est doté de toutes les options utiles pour cette application (cartographie ...
Le M-2000 offre à la fois vitesse et précision. Le système utilise la technique RCE (Ellipsométrie à compensateur tournant) brevetée et permet la détection CCD de tout le spectre (centaines de ...
Le RC2 est le premier ellipsomètre spectroscopique à double compensateurs tournants ce qui lui permet d’atteindre un niveau de précision ultime et de mesurer les 16 éléments de la matrice de Mueller ...
Le VASE est l’ellipsomètre le plus précis et le plus polyvalent pour la recherche sur tous les types de matériaux comme les semi-conducteurs, les diélectriques, les polymères, les métaux, les ...
L'IR-VASE est le premier et le seul ellipsomètre spectroscopique à couvrir la gamme spectrale de 1,7 à 30 microns (333 à 5900 nombres d'ondes). L'IR-VASE peut déterminer n et k pour les matériaux sur ...
L'ellipsomètre spectroscopique à angle variable VUV-VASE® est la référence en matière de caractérisation optique des couches minces lithographiques. Il mesure les longueurs d'onde de l'ultraviolet ...
L'ellipsomètre Woollam T-Solar™ est un M-2000™ dont l'intensité lumineuse a été optimisée en vue de la caractérisation des wafers Silicium texturés. Comme le M-2000™, il combine la méthode RCE ...
