Sputter Coater mit großer Probenkammer
Q300T Plus-Serie von Quorum Technologies- Vollautomatischer Beschichtungsablauf
(inkl. Prozesslogexport als .csv-Datei über USB) - Eingebaute Turbopumpe, Vakuum bis 5 x 10-5 mbar
- Extra große Probenkammer Ø 300 mm
- Schnelle Beschichtungszyklen
- Q300T T Plus: Sputter Coater mit 3 Targets
- Q300T D Plus: Sputter Coater mit 2 Targets zur sequentiellen Beschichtung
- Q300T ES Plus: Kombigerät aus Sputter Coater, Kohlebeschichter und Metallverdampfer
Weitere Informationen
- Q300T T Plus: Sputter Coater für Edelmetalle und oxidierende Metalle mit 3 Targets, für Beschichtung von Proben mit max. 20 cm Durchmesser
- Q300T D Plus: Sputter Coater für Edelmetalle und oxidierende Metalle mit 2 Targets für sequentielle Beschichtung von Proben mit max. 15 cm Durchmesser.
- Q300T ES Plus: Metallbedampfung, Kohlebeschichter und Sputter Coater für Edelmetalle und oxidierende Metalle für Beschichtung von Proben mit max. 15 cm Durchmesser (Metallverdampfung) oder ca. 10 cm für Kohle/Sputter.
Die Magnetron-Sputter Coater (auch "kaltes Sputtern“) besitzen im Sputterkopf (Kathode), nahe dem Target einen für diese Anwendung optimierten Magneten. Er hat die Aufgabe auf seinen Feldlinien die bei der Ionisation freiwerdenden Elektronen/ Ionen zu lenken. Dadurch werden
- Elektronen effektiver für eine weitere Ionisierung von Prozessgasionen genutzt
- übermäßige Erwärmung vermieden
- die nutzbare Fläche des Targets optimiert
Spezifikationen
Spezifikationen Q300T T/ D / ES Plus | |
---|---|
Abmessungen | 590 mm B x 535 mm T x 420 mm H (Höhe mit geöffnetem Kopfteil: 772 mm) |
Gewicht | 36,5 kg |
Rezipient | Borosilikatglas 283 mm Ø (innen) x 127 mm H |
Implosionsschutz | Polyethylenterephthalat (PET) - Zylinder |
Bildschirm | 115.5 mm x 86.4 mm (aktive Fläche) kapazitives Touch-Farbdisplay |
Benutzeroberfläche | Intuitive vollständige grafische Oberfläche Touch-Screen, inklusive Log der letzten 1000 Beschichtungsvorgänge und USB-Schnittstelle. |
Sputtertarget | Q300T T Plus – inkl. 3 Chromtargets Q300T D Plus – inkl. 1 Chromtarget und 1 Goldtarget Q300T ES Plus – inkl. 1 Chromtarget |
Vakuum | |
Turbomolekularpumpe | Intern, 70 l/s luftgekühlt |
Drehschieberpumpe | 50 l/min. 2-stufige Drehschieberpumpe mit Ölnebelfilter und Anschlussmaterial – separat zu bestellen AG-DS102 |
Vakuummessung | Pirani Vakuummessröhre, Anzeige max. 5 x 10-4 mbar, danach „High Vacuum“ (”Full Range Gauge” Penning-Messröhre als Option) |
typisches Endvakuum | ∼5x10-5 mbar* |
Druckbereich Sputtern | Zw. 5x10-3 und 5x10-2 mbar* |
Probenbühne | - rotierender Probentisch 8“ (Q300T T Plus) |
Anwendungen | |
Sputtern | 0-150 mA Prozesssteuerung mit optionalem Schichtdickenmonitor oder nach programmierter Zeit. Die maximale Sputterzeit beträgt 60 Minuten ohne Bruch des Vakuums. |
Kohleverdampfung (nur Q300T ES Plus) | robustes, „ripple free“ Netzteil mit kontinuierlich oder Impuls-Verdampfung für reproduzierbare Kohlenstoffverdampfung aus Stab- oder Fadenquelle. Strom: 1–90 A (Beschichtung von Flächen Ø ca. 10 cm) |
Metallverdampfung (nur Q300T ES Plus) | Zur thermischen Verdampfung von Drähten oder aus Schiffchen/Körbchen (Molybdän/ Wolfram) für gleichmäßige Beschichtung von Flächen Ø ca. 15 cm. |
Weitere Informationen | |
Gase | Argongas, 99.999% |
Stromversorgung | 90–250 V 50/60 Hz 1400 VA inkl. Drehschieberpumpe. 110/240 V Spannung wählbar. |
Konformität | CE-Konformität: Blindleistungskompensation. Erfüllt die geltenden Vorschriften (CE-Zertifizierung). |
Optionen und Zubehör | |
10596 | Extra hoher Glasrezipient (214 mm h x 283 mm Ø), empfohlen für größeren Abstand Sputterquelle/Probenoberfläche bei hohen Proben inkl. Dichtungen. |
AL410-414 | Halter für 9 TEM-Netzchen/Grids |
12996 (nur Q300T ES Plus) | Probenbühne mit Planetengetriebe und 3 rotierenden Probenteller (je 92 mm Ø) |
10067 | Probentisch, 50 mm Ø, Aufnahme für 6 Stiftprobenhaltern (gehört zum Lieferumfang) |
10788 | Probentisch, 10 cm Ø für Aufnahme von 18 Stiftprobenhaltern |
10360 | „RotaCota“ planetarischer Probentisch mit variabel einstellbarem Kippwinkel, Ø 50 mm, Aufnahme für 6 Stiftprobenhaltern. Erfordert extra hohen Glasrezipient 10596! |
10357 | Probentisch bis 90° kippbar, Ø 50 mm, Aufnahme für 6 Stiftprobenhaltern |
10358 | Probentisch mit Aufnahme für 2 Objektträger 75 mm x 25 mm oder 8 Stiftprobenhalter |
12043 | Probentisch mit Aufnahme von 9 Stück 20 x 20 mm Deckgläschen. Die Tischplatte lässt sich leicht von der Tischachse lösen, inkl. Mechanik für erleichterte Entnahme. |
12305 | Probentisch, 70 mm Ø für 4 Stück 25 mm Ø Stiftprobenhalter mit Fixierschraube. |
10808 | Probentisch für 8 Stück 25 – 30 mm Ø Schliffe inkl. polierter Messingplatte mit Markierung für Schliffidentifizierung. |
11856 | Probentisch für 14 Stück 25 – 30 mm Ø Schliffe inkl. polierter Messingplatte mit Markierung für Schliffidentifizierung. |
10787 | Probentisch, einstellbar für 2“, 3“ & 4“ Wafer inkl. Aufnahme von 18 Stiftprobenhaltern. |
10810 | Probentisch für 4“ & 6“ Wafer, einstellbar, wird mit 10882 Probenteller für 27 Stiftprobenhalter geliefert |
10882 | Probenteller, 150 mm Ø für 27 Stiftprobenhalter |
10428 | Penning Vakuum-Messröhre „full range“ für Anzeige im Hochvakuumbereich |
10994 (nur Q300T D Plus) | Rotierender Probentisch für 6“ Wafer inkl. Stoppmechanik für Target A oder B |
10779 (nur Q300T D Plus) | 2 Schichtdickenmonitore für die Steuerung der Schichtdicke von unterschiedlichen Materialien bei sequentieller Beschichtung |
10454 (nur Q300T ES Plus) | Schichtdickenmonitor für die Steuerung der Schichtdicke |
11520 (nur Q300T T Plus) | Schichtdickenmonitor für die Steuerung der Schichtdicke |
12937(nur Q300T ES Plus) | Schichtwiderstandsmonitor zur Steuerung des Schichtwiderstands durch Metallverdampfung (Messbereich 20 Ω – 1 KΩ) |
12624 (nur Q300T T Plus) | Probentisch für rechteckige 6“ Wafer/Masken |
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