M-2000 Ellipsomètre Spectroscopique Polyvalent
Woollam Co.Le M-2000 offre à la fois vitesse et précision. Le système utilise la technique RCE (Ellipsométrie à compensateur tournant) brevetée et permet la détection CCD de tout le spectre (centaines de longueurs d'onde) en une fraction de seconde avec un large éventail de configurations.
Le M-2000 est le premier ellipsomètre qui excelle vraiment dans tous les domaines en configuration in situ ou ex situ.
- Ex-situ, in-situ, ou en ligne
- Ellipsomètre à compensateur tournant
- Architecture modulaire avec une large variété d’options et configurations
- Gamme spectrale max 193 to 1690 nm
- Automatisation complete
Plus d'informations
L'ellipsomètre Woollam M-2000™ utilise la méthode brevetée dite RCE (Rotating Compensator) pour obtenir des mesures très précises et résolues. Le design RCE est compatible avec la détection par spectrophotomètre à caméra CCD afin de détecter toute la gamme spectrale simultanément. Grâce à une conception modulaire, le M-2000™ peut être fixé directement sur votre chambre de dépôt ou sur n'importe quel set-up ex-situ. Sa conception RCE évoluée lui assure des mesures ellipsométriques très précises pour tout type d'échantillon (aucune singularité). Les analyses réalisées permettent d'obtenir notamment les paramètres suivants : épaisseur de couche, indice complexe du matériau, rugosité d'interface, coefficients de la matrice de Mueller, dépolarisation des couches étudiées.
Caractéristiques techniques
Gammes spectrales disponibles :
- M-2000V: 370 à 1000 nm (390 wavelengths)
- M-2000U/X: 245 à 1000 nm (470 wavelengths)
- M-2000D: 193 à 1000 nm (500 wavelengths)
- Extension proche IR : 1000 à 1690 nm (200 wavelengths)
Options disponibles
- extension NIR
- une caméra NIR étend la gamme spectrale des mocèles ""V"", ""U/X"" and ""D"" à 1690 nm ajoutant 200 longueurs d'onde de 1000 nm à 1690 nm
Stations ex-situ disponibles
- Station à angle fixe, échantillon horizontal : angles 65° et 90°
- Goniomètre à angle variable automatisé, échantillon vertical (angle de 20 à 90°) ou éch. horizontal (angle de 45 à 90°)
Solution In-Situ
Inclut une paire de fenêtres UHV, deux montures pour flanges à vide 2"" avec réglages angulaires
Porte-échantillon automatisé XY
- 100 mm x 100 mm (seulement si échantillon horizontal)
- 150 mm x 150 mm (éch. horizontal et vertical)
- 200 mm x 200 mm (seulement si échantillon horizontal)
- 300 mm x 300 mm (seulement si échantillon horizontal)
Porte-échantillon manuel en XY
- 50 mm x 50 mm (seulement si échantillon horizontal)
- 100 mm x 100 mm (seulement si échantillon horizontal)
Focalisation
- sondes amovibles pour atteindre un spot d'analyse de 150 à 300 µm (axe court fonction du modèle V, X, U, D)
**taille de spot minimale : 25 µm avec M-2000F (angle d'incidence fixe)
Applications
Téléchargements
Contact
Navigation
Catégories
Contact
Quantum Design S.A.R.L.
Avenue de l’Atlantique
Bâtiment Fuji Yama
91940 Les Ulis
France
Tél. : | 01 69 19 49 49 |
Email : | franceqd-europe.com |